[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备：

第1移动体，其保持物体、能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；

第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置且包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，通过该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；

第2移动体，设有该第1格子构件与该多个第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；

第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及

控制系统，其根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与用以补偿因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该第1测量系统的测量误差的修正信息，进行该第1移动体于包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的移动控制。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该修正信息补偿因在该多个格子区域的至少1个的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该第1测量系统的测量误差。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该修正信息补偿因该多个第1读头的至少1个的光学特性、及在与该第2方向不同的方向的变位中的至少一方而产生的该第1测量系统的测量误差。

4.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该修正信息补偿因用以进行该第1移动体的位置控制的基准面、或该物体的曝光动作中该物体所一致的基准面与该第1格子构件的格子面的、在与该既定平面正交的第3方向的位置的差所产生的该第1测量系统的测量误差。

5.如权利要求4所述的移动体装置，其中，该第1移动体配置在光学系统的下方，该基准面包含该光学系统的像面。

6.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该多个第1读头，分别以在该既定平面内彼此交叉的2方向中的一方为测量方向；

于该第1测量系统被用于测量的该至少3个第1读头，包含以该2方向中的一方为测量方向的至少1个第1读头、与以该2方向中的另一方为测量方向的至少2个第1读头。

7.如权利要求6所述的移动体装置，其中，该多个第1读头，包含以该第1方向为测量方向的至少2个第1读头、与以该第2方向为测量方向的至少2个第1读头。

8.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该多个第1读头可在该第2方向与该第1移动体相对移动。

9.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该多个第1读头，包含在该第1方向、以较该多个格子区域中相邻的一对格子区域的间隔大的间隔照射该测量光束的2个第1读头、和在该第2方向该测量光束的位置与该2个第1读头中的至少一方不同的至少1个第1读头。

10.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该多个格子区域，分别具有反射型2维格子或排列方向互异的2个1维格子。

11.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该第1格子构件，具有分别形成有该多个格子区域的多个标尺。

12.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该第1测量系统，具有可使该多个第1读头移动于该第2方向的驱动部；

该控制系统，以该第1移动体的移动中、于该测量系统被用于测量的该至少3个第1读头的各个，于该第2方向该测量光束不会从该多个格子区域脱离的方式，控制该驱动部。