[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201780050421.7 申请日: 2017-06-26
公开(公告)号: CN109564942B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 中尾之泰;海老原洪平;日野史郎 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/47;H01L29/872
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 金春实
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,具备:

第1导电类型的半导体层;

多个半导体开关元件,配设于所述半导体层中的预先规定的规定区域,该半导体开关元件是具有配设于该规定区域上方的源电极及栅电极的MOSFET即金属-氧化物-半导体场效应晶体管,该半导体开关元件内置有肖特基势垒二极管;

第2导电类型的阱区域,在所述半导体层的表层中在俯视时与所述规定区域分离地配设;

栅极布线,配设于所述阱区域上方,与所述栅电极电连接;

第1欧姆电极,配设于所述阱区域中的与所述规定区域相反的一侧的第1区域上方,与该第1区域电连接;

第1肖特基电极,配设于在所述阱区域的所述第1区域中露出的所述半导体层上;以及

布线,与所述第1欧姆电极及所述第1肖特基电极电连接,并且与所述源电极电连接,

所述第1欧姆电极以及所述第1肖特基电极在俯视时沿着所述栅极布线交替配设。

2.一种半导体装置,具备:

第1导电类型的半导体层;

多个半导体开关元件,配设于所述半导体层中的预先规定的规定区域,该半导体开关元件是具有配设于该规定区域上方的源电极及栅电极的MOSFET即金属-氧化物-半导体场效应晶体管,该半导体开关元件内置有肖特基势垒二极管;

第2导电类型的阱区域,在所述半导体层的表层中在俯视时与所述规定区域分离地配设;

栅极布线,配设于所述阱区域上方,与所述栅电极电连接;

第1欧姆电极,配设于所述阱区域中的与所述规定区域相反的一侧的第1区域上方,与该第1区域电连接;

第1肖特基电极,配设于在所述阱区域的所述第1区域中露出的所述半导体层上;以及

布线,与所述第1欧姆电极及所述第1肖特基电极电连接,并且与所述源电极电连接,

所述第1欧姆电极以在俯视时包围所述第1肖特基电极的方式配设。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,

所述布线中的连接所述第1欧姆电极以及所述第1肖特基电极和所述源电极的连接部分被配设于相对所述规定区域和与所述栅极布线连接的栅极焊盘相反的一侧。

4.一种半导体装置,具备:

第1导电类型的半导体层;

多个半导体开关元件,配设于所述半导体层中的预先规定的规定区域,该半导体开关元件是具有配设于该规定区域上方的源电极及栅电极的MOSFET即金属-氧化物-半导体场效应晶体管,该半导体开关元件内置有肖特基势垒二极管;

第2导电类型的阱区域,在所述半导体层的表层中在俯视时与所述规定区域分离地配设;

栅极布线,配设于所述阱区域上方,与所述栅电极电连接;

第1欧姆电极,配设于所述阱区域中的与所述规定区域相反的一侧的第1区域上方,与该第1区域电连接;

第1肖特基电极,配设于在所述阱区域的所述第1区域中露出的所述半导体层上;以及

布线,与所述第1欧姆电极及所述第1肖特基电极电连接,并且与所述源电极电连接,

所述布线中的连接所述第1欧姆电极以及所述第1肖特基电极和所述源电极的连接部分被配设于相对所述规定区域和与所述栅极布线连接的栅极焊盘相反的一侧。

5.根据权利要求1、2、4中的任意一项所述的半导体装置,其中,

还具备第2肖特基电极,该第2肖特基电极配设于在所述阱区域中的所述规定区域侧的第2区域中露出的所述半导体层上,与所述源电极电连接。

6.根据权利要求3所述的半导体装置,其中,

还具备第2肖特基电极,该第2肖特基电极配设于在所述阱区域中的所述规定区域侧的第2区域中露出的所述半导体层上,与所述源电极电连接。

7.根据权利要求5所述的半导体装置,其中,

还具备第2欧姆电极,该第2欧姆电极配设于所述阱区域的所述第2区域上方,与该第2区域电连接,并且与所述源电极电连接。

8.根据权利要求7所述的半导体装置,其中,

所述第2肖特基电极比所述第2欧姆电极更靠所述栅极布线侧配设。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社,未经三菱电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780050421.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top