[发明专利]剥离层形成用组合物和剥离层

说明书

本发明提供包含由下述式(1)表示的聚酰胺酸和有机溶剂的剥离层形成用组合物。式中，X表示由下述式(2a)或(2b)表示的芳族基团，Y表示具有氟原子的2价的芳族基团，Z在X为式(2a)的情况下，相互独立地表示由下述式(3a)或(4a)表示的芳族基团，在X为式(2b)的情况下，相互独立地表示由下述式(3b)或(4b)表示的芳族基团，m表示自然数。

技术领域

本发明涉及剥离层形成用组合物和剥离层。

背景技术

近年来，对于电子器件，除了需要薄型化和轻质化这样的特性以外，还需要赋予能够弯曲这样的功能。由此出发，要求替代以往的重、脆弱、不能弯曲的玻璃基板而使用轻质的柔性塑料基板。

特别地，对于新一代显示器而言，要求开发使用了轻质的柔性塑料基板(以下表记为树脂基板)的有源矩阵型全色TFT显示器面板。期待着将与该新一代显示器有关的技术转用于柔性显示器、柔性智能手机、镜面显示器等各种领域。

因此，开始研究各种以树脂膜作为基板的电子器件的制造方法，对于新一代显示器而言，在进行可转用现有的TFT显示器面板制造用的设备的工艺的研究。另外，在触摸面板式显示器中，在研究用于有效率地制造在显示器面板中组合使用的触摸面板的透明电极用的树脂基板等的对策。一般地，触摸面板中所使用的树脂基板与TFT显示器面板等同样地使用了具有与玻璃同等程度的透明性的聚酰亚胺树脂基板、丙烯酸系树脂基板、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂基板、环烯烃树脂基板等的膜基板。

作为柔性显示器的制作方法，主要已知直接法(非专利文献1)。作为直接法，有将预先制作的树脂基板经由粘接剂层在玻璃基板上粘贴、在该基板上直接形成包含TFT的像素电路和有机EL的方法；在玻璃基板上制作树脂基板、在该基板上直接形成包含TFT的像素电路和有机EL的方法。

而且，在该直接法中，采用后述的各种方法将玻璃基板上形成了像素电路等的树脂基板剥离，供于显示器面板等目标的电子器件的制作。

例如，在专利文献1、2和3中公开了如下的方法：在玻璃基板上形成无定形硅薄膜层，在该薄膜层上形成了塑料基板后，从玻璃基板侧照射激光，使无定形硅结晶化，利用与该结晶化相伴而产生的氢气将塑料基板从玻璃基板剥离。

另外，在专利文献4中公开了如下的方法：使用专利文献1～3中公开的技术将被剥离层(专利文献4中记载为“被转印层”)粘贴于塑料膜，完成液晶显示装置。

但是，在专利文献1～4中公开的方法、特别是专利文献4中公开的方法中，存在如下问题：为了使激光透过，必须使用透光性高的基板；需要足以使其通过基板、进而使无定形硅中所含的氢放出的比较大的能量的激光的照射；通过激光的照射，有时对被剥离层造成损伤。

并且，在被剥离层为大面积的情况下，激光处理需要长时间，因此难以提高器件制作的生产率。

作为解决这样的问题的手段，在专利文献5中，采用了如下的制造工序：使用现有的玻璃基板作为基体(以下称为玻璃基体)，在该玻璃基体上使用环状烯烃共聚物这样的聚合物形成剥离层，在该剥离层上形成聚酰亚胺膜等耐热树脂膜(树脂基板)后，在该膜上采用真空工艺将ITO透明电极、TFT等形成·密封后，最终将玻璃基体剥离·除去。

另一方面，对于新一代显示器而言，出于应对大画面、提高成品率等的要求，需要基板的大面积化。将树脂组合物均匀地涂布于大面积的涂布面时，一般认为使用了狭缝涂布器等的狭缝涂布方式有利。狭缝涂布方式是使用了狭缝喷嘴的涂布方式，不需要如现有的旋转涂布方式那样使基板旋转，因此从树脂组合物的使用量削减和工序安全性的观点出发，已广泛地采用。但是，对于该狭缝涂布方式而言，从提高生产率的观点出发，希望涂布工序的高速化。为了实现狭缝涂布方式的高速化，需要抑制涂布时的条纹不均等的产生，因此需要降低作为最重要的参数之一的溶液的粘度。