[发明专利]可变像散射束适配设备和频率转换单元有效

专利信息
申请号: 201780041433.3 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN109477971B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: I·扎维沙;M·格拉夫;C·瓦格纳 申请(专利权)人: 通快激光有限责任公司
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02F1/35
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国施*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 可变 散射 束适配 设备 频率 转换 单元
【权利要求书】:

1.一种射束适配设备(21),用于对沿着所述射束适配设备(21)的射束轴线(25)传播的电磁辐射在横向延伸尺度和发散度的射束参数方面进行连续可变适配,以便用于影响像散和影响非旋转对称的射束横截面,所述射束适配设备具有:

光学输入元件(39),该光学输入元件具有

用于接收电磁辐射的第一像散透镜单元(27),其提供能相对于所述射束轴线(25)倾斜以调设像散的至少一个第一透镜(L1),其中,所述第一透镜(L1)能沿任意方向以能调设的角度倾斜地取向,和

发散度适配透镜单元(31),其沿着所述射束轴线(25)布置在所述第一像散透镜单元(27)的射束下游且具有用于调设发散度的第二透镜(L2),其中,所述第二透镜(L2)与所述第一像散透镜单元(27)的第一透镜(L1)之间的沿着所述射束轴线(25)的间距(d12)能调设;和

光学输出元件,该光学输出元件具有

第二像散透镜单元(29),其沿着所述射束轴线(25)布置在所述发散度适配透镜单元(31)的射束下游且具有能相对于所述射束轴线(25)倾斜以调设像散的至少一个第三透镜(L3),其中,所述第三透镜(L3)能沿任意方向以能调设的角度倾斜地取向,并且,所述发散度适配透镜单元(31)的第二透镜(L2)与所述第三透镜(L3)之间的沿所述射束轴线(25)的间距(d23)能调设。

2.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),其中,

所述第一透镜(L1)和所述第三透镜(L3)分别是会聚透镜;和

所述第二透镜(L2)是散射透镜。

3.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),其中,

所述第一透镜(L1)和所述第三透镜(L3)分别是散射透镜;和

所述第二透镜(L2)是会聚透镜。

4.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),其中,所述第一透镜(L1)和所述第二透镜(L2)分别是散射透镜;和

所述第三透镜(L3)是会聚透镜。

5.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),

其中,所述第一透镜(L1)、所述第二透镜(L2)和所述第三透镜(L3)中的至少一个是旋转对称的透镜;或

其中,所述第一透镜(L1)和所述第三透镜(L3)中的至少一个至少能在正交于所述射束轴线(25)的一个方向上移动。

6.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),其中,所述第一像散透镜单元(27)、所述发散度适配透镜单元(31)和/或所述第二像散透镜单元(29)构造成,使得通过所述第一透镜(L1)和/或所述第三透镜(L3)的可倾斜性和通过所述第二透镜(L2)和/或所述第三透镜(L3)的可移动性,通过相应的透镜的倾斜和移动能调设电磁辐射在所述射束适配设备(21)之后的参考平面处的尺寸和电磁辐射沿各两个独立方向的发散度。

7.根据权利要求1所述的射束适配设备(21),还具有:

沿着所述射束轴线(25)构造的调准轨道(23),其用于将所述第一像散透镜单元(27)、所述第二像散透镜单元(29)和/或所述发散度适配透镜单元(31)沿着所述射束轴线(25)定位;和/或

至少一个旋转支架(35,37),其用于保持所述第一透镜(L1)或所述第三透镜(L3),其中,所述至少一个旋转支架(35,37)具有至少一个调设设备,所述调设设备用于调设所述第一透镜(L1)或所述第三透镜(L3)绕至少一个倾斜轴线(35A,37A)的至少一个倾斜角度

8.根据权利要求7所述的射束适配设备(21),其中,所述倾斜轴线(35A,37A)正交于所述射束轴线(25)延伸。

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