[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种能够减小由瑞利波等弹性波的高阶模造成的杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)在作为元件基板的压电基板(2)上设置有IDT电极(3)以及绝缘膜(6)。在IDT电极(3)的交叉区域上，在将弹性波传播方向一端设为第一端部(3a)并将另一端设为第二端部(3b)的情况下，随着从第一端部(3a)以及第二端部(3b)朝向弹性波传播方向中央，绝缘膜(6)的厚度变薄或变厚。

技术领域

本发明涉及设置有绝缘膜使得覆盖IDT电极的弹性波装置。

背景技术

提出了各种利用了在LiNbO₃基板传播的瑞利波的弹性波装置。在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，在LiNbO₃基板上设置有IDT电极，并设置有温度补偿用的氧化硅膜，使得覆盖IDT电极。在专利文献1记载的弹性波装置中，氧化硅膜设置为，对IDT电极的电极指间进行填埋，进而覆盖IDT电极的上表面。氧化硅膜的上表面被平坦化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2005/034347

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1记载的弹性波装置中，利用的弹性波是瑞利波，但是也会激励高阶模。而且，该高阶模有时会在瑞利波的频率的1.2～1.3倍程度的频率区域强烈地产生。因此，有时瑞利波的高阶模会作为杂散而成为问题。此外，并不限于瑞利波，在设置有绝缘膜使得覆盖IDT电极的构造中，有时不仅激励所利用的弹性波的模式，还激励高阶模从而作为杂散而成为问题。

本发明的目的在于，提供一种能够减小瑞利波等弹性波的高阶模的杂散的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：元件基板，具有压电体层；IDT电极，设置在所述压电体层上；以及绝缘膜，覆盖所述IDT电极，所述IDT电极具有作为激励弹性波的区域的交叉区域，在将所述交叉区域的弹性波传播方向上的一端设为第一端部并将另一端设为第二端部的情况下，在所述IDT电极的交叉区域上，随着从所述IDT电极的所述第一端部以及所述第二端部朝向弹性波传播方向中央，所述绝缘膜的厚度变薄或变厚。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方式中，所述绝缘膜是直接覆盖所述IDT电极的电介质层。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述绝缘膜具有在所述弹性波传播方向上相对于所述压电体层的上表面倾斜的倾斜面。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，在所述IDT电极的至少所述交叉区域的上方，所述绝缘膜的厚度沿着所述弹性波传播方向连续地变化。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，在将所述IDT电极的交叉宽度方向上的所述交叉区域的一端设为第三端部并将另一端设为第四端部的情况下，随着从所述第三端部以及所述第四端部朝向交叉宽度方向中央，所述绝缘膜的厚度变薄或变厚。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述压电体层包含LiNbO₃。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，利用了在所述LiNbO₃传播的瑞利波。

在本发明的又一个特定的局面中，可提供作为具有所述IDT电极的弹性波谐振器的弹性波装置。

在本发明的又一个特定的局面中，提供一种弹性波装置，该弹性波装置是具有多个所述IDT电极的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。

发明效果

在本发明涉及的弹性波装置中，能够有效地减小由瑞利波等弹性波的高阶模造成的杂散。

附图说明