[发明专利]太阳能电池、太阳能电池的制造系统及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，具备：

钝化膜，其保护半导体基板；

第一副栅线电极，其在所述半导体基板的主面与所述半导体基板连接；

第一主栅线电极，其与所述第一副栅线电极交叉；和

中间层，其设置于所述第一副栅线电极与所述第一主栅线电极的交叉位置，

所述第一副栅线电极和所述第一主栅线电极经由所述中间层而相互电导通，

所述第一副栅线电极包含铝的烧结体，

所述第一主栅线电极包含环氧树脂与银的烧结体、或者丙烯酸类树脂与银的烧结体，

所述中间层包含玻璃料与银的烧结体。

2.一种太阳能电池，其特征在于，具备：

第一导电型的第一杂质扩散层，其设置于半导体基板的主面；

第二导电型的第二杂质扩散层，其设置于所述主面；

钝化膜，其保护所述半导体基板、所述第一杂质扩散层及所述第二杂质扩散层；

第一副栅线电极，其在所述主面与所述第一杂质扩散层连接；

第二副栅线电极，其在所述主面与所述第二杂质扩散层连接；

第一主栅线电极，其与所述第一副栅线电极交叉；

第二主栅线电极，其与所述第二副栅线电极交叉；和

中间层，其设置于所述第一副栅线电极与所述第一主栅线电极的交叉位置，

所述第一副栅线电极和所述第一主栅线电极经由所述中间层相互电导通，

所述第一副栅线电极包含铝的烧结体，

所述第一主栅线电极包含环氧树脂与银的烧结体、或者丙烯酸类树脂与银的烧结体，

所述第二副栅线电极及所述中间层包含玻璃料与银的烧结体。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池，其特征在于，

将在所述第一副栅线电极与所述第一主栅线电极的交叉位置上朝向与所述主面正交的方向观察时的所述中间层的面积设为A、并且将所述第一副栅线电极与所述第一主栅线电极交叉的面积设为B的情况下，

A/B为0.01以上且1以下。

4.一种太阳能电池的制造系统，其特征在于，具备：

成膜装置，其形成保护半导体基板的钝化膜；

副栅线电极形成装置，其在所述半导体基板的主面形成与所述半导体基板连接的第一副栅线电极；

中间层形成装置，其在所述第一副栅线电极上形成中间层；和

主栅线电极形成装置，其形成隔着所述中间层与所述第一副栅线电极交叉的第一主栅线电极，

所述副栅线电极形成装置将导电性铝糊剂烧成而形成所述第一副栅线电极，

所述中间层形成装置将包含玻璃料的第一导电性银糊剂烧成而形成所述中间层，

所述导电性铝糊剂和所述第一导电性银糊剂被同时烧成，

所述主栅线电极形成装置将包含环氧树脂或丙烯酸类树脂的第二导电性银糊剂加热而形成所述第一主栅线电极，

所述导电性铝糊剂及所述第一导电性银糊剂的烧成时峰温度与所述第二导电性银糊剂的加热时峰温度之差为300℃以上且700℃以下。