[发明专利]脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置

说明书

本发明能够获得抑制波长光谱的扩大并被放大了的高强度脉冲光。脉冲光生成装置构成为包括：第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消。

技术领域

本发明涉及脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置。

背景技术

为了将从半导体激光等射出的脉冲光作为检查装置或加工装置的光源来使用，要求脉冲光的强度大且波长光谱宽度小。为了得到强度大的脉冲光，需要利用光纤放大器将从半导体激光射出的脉冲光放大。但是，在放大的过程中，脉冲光产生基于自相位调制的相位调制，其结果为，存在脉冲光的波长光谱扩大的问题。

在专利文献1中公开了下述技术内容：在光通信系统中，在进行信号光通信时，将与二进制信号数据对应地进行强度调制而得到的信号光、和与使该二进制信号数据反转得到的反转二进制信号对应地进行强度调制而得到的反转信号光合波，并经由光纤传输路径发送。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8－125605号公报

发明内容

在专利文献1公开的光通信系统中，针对脉冲光无法在抑制波长光谱的扩大的同时将脉冲光放大至大强度。

本发明第1方式的脉冲光生成装置构成为包括：第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消。

本发明第2方式的脉冲光生成方法为，在将第1脉冲光与第2脉冲光合波后使其入射至第1光纤并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；使从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光入射至第2光纤后在内部传播并放大；利用在所述第1光纤中因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光产生的相位调制，将在所述第2光纤中因自相位调制而产生的所述第1脉冲光的相位调制抵消。

附图说明

图1是第1实施方式的脉冲光生成装置的概念图。

图2是表示主脉冲光的时间强度变化与副脉冲光的时间强度变化之间的关系的概念图。

图3是第2实施方式的脉冲光生成装置的概念图。

图4是表示模拟用的主脉冲光及副脉冲光各自的波形的示意图。

图5是表示在模拟中在入射至第1光纤的时间点的主脉冲光的波长光谱的曲线图。

图6是表示在第1光纤中传播的主脉冲光的频谱的模拟结果的曲线图。

图7是表示在第2光纤中传播的主脉冲光的频谱的模拟结果的曲线图。

图8是表示在从第2光纤射出的时间点的主脉冲光的波长光谱的模拟结果的曲线图。

图9是表示没有配置第1光纤1的构造中的主脉冲光的波长光谱的模拟结果的曲线图。

图10是第3实施方式的脉冲光生成装置的概念图。