[发明专利]制造互连太阳能电池的方法及这种互连太阳能电池

权利要求书

1.一种制造互连太阳能电池的方法，包括以下步骤：

a)在基底(120)上设置连续的层堆叠部(100)，所述层堆叠部包括顶部电极层(130)、与所述基底相邻的底部电极层(140)，具有光伏有源层(150)和介于所述顶部电极层与所述底部电极层之间的、与所述底部电极层相邻的阻挡层(160)；

b)使用具有第一波长的第一激光束(270)，选择性地去除所述顶部电极层和所述光伏有源层，以获得曝光所述阻挡层的第一沟槽(210)；

c)使用具有第二波长的第二激光束(272)，选择性地去除所述第一沟槽内的所述阻挡层和所述底部电极层，以获得暴露所述基底的第二沟槽(312)，其中，所述第二沟槽和所述第一沟槽提供所述连续的层堆叠部的分离，从而形成第一太阳能电池(302)和第二太阳能电池(304)，以及所述第二沟槽在第一沟槽内，从而留下所述第一沟槽内的所述第二太阳能电池的阻挡层(160b)的部分(314)以及所述第一沟槽内的所述第二太阳能电池的底部电极层(140b)的部分(315)；

d)用电绝缘构件(480)填充所述第一沟槽和所述第二沟槽；

所述第一波长比与所述光伏有源层的带隙能量相对应的波长大，

其中，所述阻挡层(160)是防止所述第一激光束(270)到达所述底部电极层(140)的阻止层，所述底部电极层包括钼，并且所述阻挡层(160)包括MoSe₂层，所述MoSe₂层在所述底部电极层与所述光伏有源层之间形成交界层，

所述方法还包括：

e)使用具有第三波长的、能够耦合进入MoSe2层的第三激光束(574)，以选择性地去除所述第一沟槽(210)内的所述第二太阳能电池(304)的MoSe2层(160b)的部分(314)和所述电绝缘构件(480)，以获得第三沟槽(514)，所述第三沟槽(514)暴露所述第一沟槽(210)内的所述第二太阳能电池的底部电极层的部分(315)；

f)沉积电互连构件(690)，所述电互连构件(690)覆盖所述第三沟槽(514)的至少部分，并使所述第一太阳能电池(302)的顶部电极层(630a)与所述第一沟槽内的所述第二太阳能电池的底部电极层的部分(315)相连接。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一波长在1μm与3μm之间的范围内。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光束的脉冲周期在0.25ns与100ns之间的范围内。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二波长在0.3μm与1.5μm之间的范围内。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光束的脉冲周期在0.25ns与100ns之间的范围内。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第三波长在0.3μm与1.5μm之间的范围内。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第三激光束的脉冲周期在0.25ns与100ns之间的范围内。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二波长与所述第三波长相同。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光束(272)与所述第三激光束(574)相同。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述顶部电极层(130)包括ZnO₂Al层和ZnO₂层的堆叠。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，在所述光伏有源层(150)与所述顶部电极层(130)之间设置CdS层，其中，所述ZnO₂层邻近所述CdS层，以及所述ZnO₂Al层邻近所述ZnO₂层。