[发明专利]LIGA制造方法

权利要求书

1.一种形成三维微型部件的方法，所述方法包括步骤：

(i)利用双光子吸收聚合在光致抗蚀剂材料中形成三维(3D)几何轮廓，其中在形成于光致抗蚀剂中的三维几何部分已被烘烤时，所述三维几何轮廓形成限定微型部件的外表面部分的交联的聚合轮廓，以及

(ii)应用UV(紫外)聚合工艺，以使与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的聚合物材料交联。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述三维几何轮廓形成封闭的壳体，在所述封闭的壳体中限定模腔，所述模腔限定用于形成微型部件的形状和几何尺寸，并且所述方法进一步包括步骤：对光致抗蚀剂进行显影，以在所述封闭的壳体中提供模腔，其中通过UV(紫外)聚合方法聚合光致抗蚀剂的步骤使得光致抗蚀剂材料交联以便形成模具，以用于在所述模具中形成所述微型部件。

3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括步骤：通过电铸工艺在所述模腔中形成微型部件，其中所述微型部件由金属材料或金属合金材料形成。

4.根据权利要求3所述的方法，进一步包括步骤：移除所述微型部件周围的光致抗蚀剂，以便暴露所述微型部件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中在烘烤光致抗蚀剂的步骤(i)之后，在通过UV(紫外)聚合工艺曝光剩余的光致抗蚀剂使得光致抗蚀剂聚合而使所述光致抗蚀剂形成聚合的微型部件的步骤(ii)之前，所述方法进一步包括移除所述三维几何轮廓外部的光致抗蚀剂的步骤。

6.一种微型部件，其根据先前权利要求中的任一项所述的方法形成。

7.根据权利要求6所述的微型部件，其中所述微型部件是用于机械时钟的部件。

8.根据权利要求6所述的微型部件，其中所述微型部件是用于医疗器械的部件。

9.一种形成模具的方法，所述模具用于形成三维微型部件，所述方法包括步骤：

(i)使用双光子吸收聚合在光致抗蚀剂材料中形成三维(3D)几何轮廓，其中在形成于光致抗蚀剂中的三维几何部分已被烘烤时，所述三维几何轮廓形成限定微型部件的外表面部分的交联的聚合轮廓；以及

(ii)应用UV(紫外)聚合工艺，以使与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的聚合物材料交联；

其中，所述三维几何轮廓限定模腔，以用于在所述模腔中形成三维微型部件；以及

其中邻近所述三维几何轮廓提供所述模具的主体。

10.一种用于形成三维微型部件的模具，其中所述模具根据权利要求9所述的方法形成。

11.一种形成三维微型部件的方法，所述方法包括步骤：

(i)使用双光子吸收聚合在光致抗蚀剂材料中形成三维(3D)几何轮廓，其中在形成于光致抗蚀剂中的三维几何部分已被烘烤时，所述三维几何轮廓形成限定微型部件的外表面部分的交联的聚合轮廓；

(ii)移除所述三维几何轮廓外部的光致抗蚀剂；以及

(iii)应用UV(紫外)聚合工艺，以使与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的聚合物材料交联；

其中所述三维几何轮廓形成三维微型部件的外表面；以及

其中与所述三维几何轮廓相邻的光致抗蚀剂的交联聚合物材料形成所述三维微型部件的主体。

12.一种三维微型部件，其根据权利要求11所述的方法形成。