[发明专利]具有可调整磁致伸缩的磁阻元件以及包括磁阻元件的磁性设备在审

专利信息
申请号: 201780015916.6 申请日: 2017-03-06
公开(公告)号: CN108701757A 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: S.邦迪尔拉 申请(专利权)人: 克罗科斯科技公司
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01F10/26;H01L43/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 孙鹏;闫小龙
地址: 法国格*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 磁致伸缩 磁阻元件 感测层 存储 铁磁层 感测 磁性设备 存储层 可调整 调整补偿 阻挡层
【权利要求书】:

1.一种磁阻元件(1),包括:

具有第一存储磁致伸缩的存储层(21);

具有第一感测磁致伸缩的感测层(23);

在存储和感测层(21,23)之间并且与存储和感测层(21,23)接触的阻挡层(22);

其特征在于磁阻元件(1)还包括

具有与第一存储磁致伸缩和/或感测磁致伸缩不同的第二磁致伸缩的补偿铁磁层(25),并且其中补偿铁磁层(25)的厚度使得补偿铁磁层(25)的第二磁致伸缩补偿第一存储磁致伸缩和/或第一感测磁致伸缩,使得存储层(21)和/或感测层(23)的净磁致伸缩在-10ppm et +10 ppm之间或者比-10 ppm更为负,并且其中存储层(21)和/或感测层(23)在补偿铁磁层(25)和阻挡层(22)之间。

2.根据权利要求1所述的磁阻元件,其中补偿铁磁层(25)包括包含小于25%wt的Ta、Ti、Hf、Cr、Sc、Cu、Pt、Pd、Ag、Mo、Zr、W、Al、Si、Mg或其组合的Ni或Co合金,或者包括纯Ni或纯Co。

3.根据权利要求2所述的磁阻元件,其中补偿铁磁层(25)具有0.5nm和10nm之间的厚度。

4.根据权利要求1到3中任一项所述的磁阻元件,

还包括在补偿铁磁层(25)与存储层(21)和感测层(23)中的至少一个之间的过渡层(26)。

5.根据权利要求4所述的磁阻元件,其中过渡层(26)包括Ti、Hf、Ta、Nb、Cr或其组合,和/或具有包括在0.1nm和1nm之间的厚度。

6.根据权利要求1到5中任一项所述的磁阻元件,

还包括铁磁耦合层(27),所述铁磁耦合层(27)包括基于Fe或Co的合金并且适于提供大于0.05 erg/cm2的交换耦合。

7.根据权利要求6所述的磁阻元件,

还包括交换耦合存储层(21)的存储反铁磁层(24),并且

其中铁磁耦合层(27)包括在存储反铁磁层(24)和补偿铁磁层(25)之间。

8.根据权利要求6到7中任一项所述的磁阻元件,

包括在补偿铁磁层(25)和铁磁耦合层(27)之间的另一过渡层(26)。

9.根据权利要求1到8中任一项所述的磁阻元件,

其中存储层(21)包括SAF结构,所述SAF结构包括与阻挡层(22)接触的第一铁磁存储层(211)、第二铁磁存储层(212)以及在第一和第二铁磁存储层(211,212)之间的SAF存储耦合层(213);以及

其中补偿铁磁层(25)包括在SAF耦合层(213)和第一铁磁存储层(211)之间以及SAF耦合层(213)和第二铁磁存储层(212)之间。

10.根据权利要求1到9中任一项所述的磁阻元件,

其中感测层(23)包括SAF结构,所述SAF结构包括与阻挡层(22)接触的第一铁磁感测层(231)、第二铁磁感测层(232)以及在第一和第二铁磁感测层(231,232)之间的SAF耦合层(233);并且

其中补偿铁磁层(25)包括在SAF耦合层(233)和第一铁磁感测层(231)之间以及SAF耦合层(233)和第二铁磁感测层(232)之间。

11.根据权利要求9或10以及权利要求4或5所述的磁阻元件,

其中过渡层(26)包括在补偿铁磁层(25)和第一铁磁存储层(211)之间和/或补偿铁磁层(25)和第二铁磁存储层(212)之间。

12.根据权利要求10或11以及权利要求4或5所述的磁阻元件,

其中过渡层(26)包括在补偿铁磁层(25)和第一铁磁感测层(231)之间和/或补偿铁磁层(25)和第二铁磁感测层(232)之间。

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