[发明专利]挡板

说明书

一种安装到旋流形成体(1)的挡板(2)设置有：挡板主体(21)，该挡板主体被设置为能够安装到旋流形成体(1)以及从该旋流形成体(1)拆卸，挡板主体(21)允许由旋流形成体(1)所生成的负压吸入的流体穿过，并且防止被抽吸物体进入旋流形成体(1)的凹部(13)；支撑构件(22)，该支撑构件在支撑构件的一端处附装到流体流形成体(1)的主体(11)，并且在支撑构件的另一端处支撑挡板主体(21)，使得挡板主体(21)面向旋流形成体(1)的端面(12)，支撑构件(22)将挡板主体(21)支撑为使得保持端面(12)与挡板主体(21)之间的间隙，并且形成允许流出凹部(13)的流体流动的流路。

技术领域

本发明涉及一种有待附接到通过使用伯努利(Bernoulli)定律向材料施加抽吸的装置的挡板。

背景技术

本领域中已知的是用于通过使用伯努利定律向诸如半导体晶片或玻璃衬底的板状构件施加抽吸的装置。例如，在专利文献1中，描述了一种抽吸装置，该抽吸装置包括旋流形成体，该旋流形成体在旋流形成体的凹部内形成旋流。在凹部内形成的旋流生成向构件施加抽吸的负压。抽吸装置还包括：挡板，该挡板用于防止构件进入凹部；和连接构件，这些连接构件用于在旋流形成体的端面与挡板之间形成允许流出凹部的流体流动的流路。该抽吸装置能够以稳定方式向构件施加抽吸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP 2016-159405 A1

发明内容

本发明要解决的问题

鉴于上述技术而提出本发明，并且本发明的目的是提供一种包括挡板主体的挡板，该挡板主体以可移除的方式附接到形成旋流或径向流的流体流形成体，该旋流或径向流生成向构件施加抽吸的负压。

解决问题的手段

为了解决以上所描述的问题，本发明提供了一种有待附接到流体流形成体的挡板，流体流形成体包括：柱状主体；平坦端面，该平坦端面形成在主体处；凹部，该凹部形成在端面处；以及流体流形成装置，该流体流形成装置用于在凹部中形成流体旋流或通过将流体排放到凹部中形成径向流，流体旋流或径向流生成向构件施加抽吸的负压，挡板包括：挡板主体，该挡板主体能够附接到流体流形成体以及与其分离，并且在防止构件进入凹部的同时允许由负压施加了抽吸的流体穿过；和支撑构件，该支撑构件在该支撑构件的一端处附接到主体，并且在支撑构件的另一端处支撑挡板主体，使得挡板主体与端面相对，并且支撑构件将挡板主体支撑为使得保持端面与挡板主体之间的间隙，并且形成允许流出凹部的流体流动的流路。

在本发明的优选模式中，挡板还可以包括间隙保持部，该间隙保持部保持端面与挡板主体之间的间隙。

在本发明的另外优选模式中，支撑构件可以包括爪部，该爪部钩在主体的表面上，表面与端面相对，间隙保持部和爪部可以将主体保持在其间，并且间隙保持部可以形成流路。

在本发明的另外优选模式中，挡板主体可以包括：开口，该开口形成在挡板主体的中心部处，确定一部分已经进入开口的构件的位置；和孔，该孔形成在开口周围，使得附接到流体流形成体的挡板与凹部相对。

在本发明的另外优选模式中，支撑构件可以通过使用支撑构件的弹性力附接到主体。

本发明的有益效果

本发明提供一种包括挡板主体的挡板，该挡板主体以可移除的方式附接到形成旋流或径向流的流体流形成体，该旋流或径向流生成向构件施加抽吸的负压。

附图说明

图1是抽吸装置10的示例的立体图。

图2是如从不同角度看到的抽吸装置10的另一个立体图。

图3是抽吸装置10的分解立体图。