[发明专利]使玻璃变薄的方法

说明书

提供了使玻璃变薄的方法，包括通过使玻璃片进行蚀刻工艺来减小玻璃片的厚度的方法。所述方法可包括使玻璃片沿着传送路径通过蚀刻区多次，直到将玻璃片的初始厚度减小到玻璃片的最终预定厚度；以及在每次通过蚀刻区后对玻璃片进行洗涤。

相关申请的交叉引用

本申请根据35U.S.C.§119要求于2016年1月29日提交的系列号为62/288773的美国临时申请的优先权权益，本申请以该申请的内容为基础，并且通过引用的方式全文纳入本文。

技术领域

本公开一般地涉及使玻璃变薄的方法，更具体地，涉及通过使玻璃片进行蚀刻工艺来降低玻璃片厚度的方法。

背景技术

玻璃片普遍用于各种应用，例如显示应用，包括液晶显示器(LCD)、电泳显示器(EPD)、有机发光二极管显示器(OLED)、等离子体显示器面板(PDP)等。

玻璃片可通过各种玻璃成形技术来成形，包括狭缝拉制、浮法、下拉、熔合下拉和上拉。在一些应用中，期望提供厚度比可通过各种现有的玻璃成形技术容易获得的厚度更小的超薄玻璃片。例如，当与厚度大于300微米的相对较厚的玻璃片比较时，厚度小于或等于300微米、小于或等于200微米、小于或等于100微米、小于或等于75微米、或小于或等于50微米的越薄玻璃片可具有增强的挠性。因此，超薄玻璃片可获得相对较小的弯曲半径而不会产生原本可在相对较厚的玻璃片中产生的不可接受的应力水平。因此，超薄玻璃片可以特别适合包括对玻璃片进行弯曲和折叠的应用，包括各种显示应用。

为了形成超薄玻璃片，已知使用常规玻璃成形技术首先形成高品质玻璃片。然后可以使具有初始厚度的玻璃片进行加工技术以降低初始厚度，从而获得具有最终期望厚度的超薄玻璃片。使玻璃片变薄的现有技术常涉及在垂直浴工艺中对玻璃片进行垂直蚀刻，随后机械抛光玻璃片以改进玻璃片的厚度均匀性(例如减少厚度差异性)并改进玻璃片的光学品质。然而，可能难以使用这些现有加工技术，或者在一些情况中不能使用这些现有加工技术来降低玻璃片的初始厚度，同时还要满足在某些应用中期望的相对紧密的容差控制、减少厚度差异性和增强光学清晰度参数。

发明内容

本公开提供了降低之前形成的玻璃片的厚度以提供高品质的超薄玻璃片的方法，该超薄玻璃片具有原本通过常规玻璃变薄技术不能获得的相对紧密的容差控制，有所降低的厚度差异性以及增强的光学清晰度。本公开的概念可以根据下述一个或多个示例性实施方式实施。

实施方式1.一种通过使玻璃片进行蚀刻工艺来降低玻璃片厚度的方法，所述方法包括以下步骤：

使玻璃片沿着传送路径通过蚀刻区多次，直到将玻璃片的初始厚度降低到玻璃片的最终预定厚度；和

在每次通过蚀刻区后洗涤玻璃片。

实施方式2.如实施方式1所述的方法，其中，所述蚀刻区包括多个蚀刻区，使玻璃片沿着传送路径通过多个蚀刻区中的每个蚀刻区至少一次以包括多次，并且在每次通过多个蚀刻区中的每个蚀刻区后洗涤玻璃片。

实施方式3.如实施方式1或实施方式2所述的方法，还包括以下步骤：

在玻璃片第一次通过蚀刻区期间，将玻璃片的第一主表面暴露于第一蚀刻剂，以及将玻璃片的第二主表面暴露于第二蚀刻剂；然后

在玻璃片下一次通过蚀刻区期间，将玻璃片的第一主表面暴露于第二蚀刻剂，以及将玻璃片的第二主表面暴露于第一蚀刻剂。

实施方式4.如实施方式3所述的方法，其中，从布置在传送路径上方的顶部喷洒器向玻璃片提供第一蚀刻剂，并且其中，从布置在传送路径下方的底部喷洒器向玻璃片提供第二蚀刻剂。

实施方式5.如实施方式4所述的方法，其中，来自顶部喷洒器的第一蚀刻剂的第一流速小于来自底部喷洒器的第二蚀刻剂的第二流速。