[发明专利]隔热平台系统及方法

说明书

本发明提供了一种设备和方法，用于支持机械稳定且隔热的平台，该隔热平台用于需求高隔热的工作样品装置。该设备包括安装底座、基体、及微结构管，微结构管连接安装底座与基体并具有高热阻的内部和高导电性、低热辐射的薄包覆层。辐射反射器可被整合到所述设备中以保护组件及反射红外辐射，装备在真空盖上的吸气剂可被密封到真空头以在所述设备中维持真空环境。

相关申请的交叉引用

如果有的话，本申请涉及或要求来自下列申请(“优先权申请”)的最早有效申请日的优先权(例如，为除了临时专利申请以外的要求最早优先权日，或根据35USC119(e)为临时申请、优先权申请的任何及所有专利、母案、母案的母案等申请要求优先权)。此外，本申请涉及的“相关申请”，如果有的话，在下面列出。

优先权申请

美国临时专利申请号US62/288,346，发明名称为“隔热平台系统及方法”，申请日为2016年1月28日，其主题在此完全地通过引用而合并。

如果上述提供的申请列表与ADS中提供的列表不均匀，申请人意在要求在ADS的优先权章节中出现的每个申请的优先权，及出现在本申请的优先权章节中的每个申请的优先权。

包含任何优先权申请及相关申请的所有主题，及优先权申请及相关申请的任何及所有专利、母案、母案的母案申请等，在此通过引用的而合并到以下程度，即这样的主题因此不会存在相互矛盾之处。

如果一个申请数据表(ADS)已经于本申请的提交日是提交，在此通过引用的方式合并。任何在ADS中要求的用于根据35USC119,120,121，或365(c)的优先权的申请，以及这些申请的任何一个及所有专利、母案、母案的母案等申请，也通过引用的方式合并，包括在这些申请中做出的任何优先权及通过引用合并的材料，至这种程度，即这样的主题不会因此存在相互矛盾之处。

背景技术

1.发明领域

本发明通常涉及一种装置及方法，其用于提供高隔热环境。

2.现有技术描述

许多装置要求隔热环境，稳定且均匀的温度以降低功率及提高性能。通常来说，使用加热器及冷却器来有效地维持样品装置的温度。通过周围流体环境的对流、及通过接触点(例如机械支撑、信号输入输出，及电力线)的传导会产生的热量损失。减少加热器或冷却器的功耗通常通过减少样品装置及外部环境之间的接触点的数量来达到，而降低由于环境温度及其改变而产生的热波动通常通过高热增益设计达到。在实际中，降低围绕样品装置的热气体压力实质上使对流最小化，低辐射率涂层用于样品装置的表面以降低热辐射；然而，进一步降低由于传导导致的热损失仍然是一个挑战。

已经有一些高性能隔热装置的系统。Biernacki在美国专利6,236,145公开了一种具有螺旋形线圈的金属涂层玻璃管，其具有围绕所述管壁的周向形成的气隙。所述管壁的一端支撑并电连接至晶体谐振器，所述管壁的另一端附着并电连接至基体。

Mescher等在美国专利7,215,213公开了一种具有悬架框的芯片级设备的悬架，该悬架框定义了第一平面和穿过该框的开口。该设备也具有至少一个系链(tether)，其以一个相对于第一平面的角度穿过该开口。

DeNatale等在美国专利8,456,249中公开了一种微尺寸固化聚合物带，其具有从该带的一侧延伸的加强结构，由该带悬挂的第一基体，耦合于该带以通过所述带而悬挂该第一基体的第二基体，其中所述带相似地耦合到所述第一基体。

本发明克服了现有技术中几个不足，例如，在振动或冲击时缺少机械灵活性，难以为样品装置维持均衡的温度分布，在设备工作时功耗过大。此外，对较大设备来说本发明可放大，或增加输入及输出连接的数量。

发明内容