[实用新型]一种光束微动调整装置

说明书

本实用新型提供了一种光束微动调整装置，其包括第一摆镜模块和第二摆镜模块，在光束沿Z向入射穿过镜片，通过第一摆镜模块可调整光束Y向位置，通过第二摆镜模块可调整光束X向位置，从而实现光束在X‑Y平面的定位。所述光束微动调整装置结构紧凑，操作方便且实用性强，能够实现光束在微小的尺寸范围内沿平面进行平移。在调整光斑在X‑Y平面位置时，保证了光束与Z轴的平行关系不生变化，避免了调整光斑工作位置时的反复操作。

技术领域

本实用新型涉及超快激光技术领域，尤其是加工设备中的光学系统调试领域。

背景技术

在超快激光加工设备应用中，激光束的位置对于工件的加工质量和加工精度有着非常重要的影响。在一般三轴加工设备中，激光束沿Z轴方向，垂直于X-Y平面进入工作平面，而激光束光斑中心点在工作平面X-Y的位置即加工设备的刀尖位置。

在实际应用中，需要确保光斑中心点处于工作位置，而光束对机械位置的变动非常敏感，在调整光斑在X-Y平面内的位置时，光束与Z轴的平行关系也可能会发生变化。因此，为了保证光斑的工作位置，往往会反复调整光路。为了提高光路调整的效率，需要一种调整装置，在光束与Z轴的关系不发生改变的前提下，调整光斑在X-Y平面内的位置。

实用新型内容

鉴于此，有必要提供一种光束微动调整装置，用于调整光束在平面内的位置。

本实用新型提供了一种光束微动调整装置，其包括第一摆镜模块和第二摆镜模块，

所述第一摆镜模块包括第一平行平板透射镜片和第一摆动部件；

所述第一摆动部件包括第一镜框座组件、第一旋转组件以及第一微动锁紧机构；所述第一镜框座组件用于固定第一平行平板透射镜片，并可旋转地连接在第一旋转组件上，所述第一微动锁紧机构用于第一旋转组件在Y轴方向的驱动和固定；

所述第二摆镜模块包括第二平行平板透射镜片和第二摆动部件；

所述第二摆动部件包括第二镜框座组件、第二旋转组件以及第二微动锁紧机构，所述第二镜框座组件用于固定第二平行平板透射镜片，并可旋转地连接在第二旋转组件上，所述第二微动锁紧机构用于第二旋转组件在X轴方向的驱动和固定。

优选的，所述第一镜框座组件包括用于容纳第一平行平板透射镜片的镜框座，以及用于紧固第一平行平板透射镜片的压圈。

优选的，所述第一旋转组件包括第一转块、第一转轴以及第一安装底座，所述第一转轴水平穿过第一安装底座和第一转块而使第一转块安装在第一安装底座上，所述第一转块绕着第一转轴摆动。

优选的，所述镜框座固定连接在第一转块上。

优选的，所述第一微动锁紧机构包括驱动螺钉和锁紧螺钉，所述驱动螺钉用于驱动第一转块在竖直方向上正反旋转，所述锁紧螺钉用于紧固处于停止位置的第一转块。

优选的，所述第二镜框座组件包括用于容纳第二平行平板透射镜片的镜框座，以及用于紧固第二平行平板透射镜片的压圈。

优选的，所述第二旋转组件包括第二转块、第二转轴以及第二安装底座，所述第二转轴竖直安装于第二安装底座与第二转块之间而使第二转块绕着第二转轴摆动，所述第二转块、第二转轴均安装在第二安装底座上。

优选的，所述镜框座固定连接在第二转块上。

优选的，所述第二微动锁紧机构包括驱动螺钉和锁紧螺钉，所述驱动螺钉用于驱动第二转块在水平方向上正反旋转，所述锁紧螺钉用于紧固处于停止位置的第二转块。