[实用新型]一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置

权利要求书

1.一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：包括第一透明板、第二透明板、第一柔性环形圈、第二柔性环形圈，第一透明板、第二透明板相对设置，第一柔性环形圈设置在第一透明板的内侧侧壁上，第二柔性环形圈设置在第二透明板的内侧侧壁上，第一柔性环形圈与第二柔性环形圈之间间隔用于夹紧待测晶片的距离，第一柔性环形圈、第二柔性环形圈在水平方向内重合设置，以使第一柔性环形圈在待测晶片的左侧端面上包围形成的表面积和第二柔性环形圈在待测晶片的右侧端面上包围形成的表面积相等，还在第一透明板的内部设置第一测试液注入通道和第一排气通道，第一测试液注入通道的入口端与外界连通，第一测试液注入通道的出口端从第一透明板的内侧侧壁穿出，以与第一柔性环形圈包围形成的第一测试区域连通，第一排气通道的入口端与外界连通，第一排气通道的出口端从第一透明板的内侧侧壁穿出，以与第一柔性环形圈包围形成的第一测试区域连通，第一测试液注入通道的出口端的高度靠近第一柔性环形圈的底部，第一排气通道的出口端的高度靠近第一柔性环形圈的顶部，还在第二透明板的内部设置第二测试液注入通道和第二排气通道，第二测试液注入通道的入口端与外界连通，第二测试液注入通道的出口端从第二透明板的内侧侧壁穿出，以与第二柔性环形圈包围形成的第二测试区域连通，第二排气通道的入口端与外界连通，第二排气通道的出口端从第二透明板的内侧侧壁穿出，以与第二柔性环形圈包围形成的第二测试区域连通，第二测试液注入通道的出口端的高度靠近第二柔性环形圈的底部，第二排气通道的出口端的高度靠近第二柔性环形圈的顶部，第一测试区域和第二测试区域用于填充测试用电解液。

2.如权利要求1所述的钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：第一测试液注入通道为倾斜设置的通道，避免测试液进入时气泡的产生。

3.如权利要求1所述的钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：在第一透明板和第二透明板的边缘处设置锁紧螺钉，以通过锁紧螺钉将第一透明板和第二透明板之间相对固定。

4.如权利要求1所述的钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：第一柔性环形圈与第一透明板之间采用粘接连接，第二柔性环形圈与第二透明板采用粘接连接。

5.如权利要求1所述的钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：所述第一透明板、第二透明板均为有机玻璃板。

6.如权利要求1所述的钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置，其特征在于：第一柔性环形圈和第二柔性环形圈为O型橡胶密封圈。