[实用新型]气相沉积炉有效
| 申请号： | 201721832487.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207684897U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 朱文博;银波;范协诚;王文;夏高强;薛明华 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积腔室 沉积 沉积产物 加热腔室 接收机构 连通通道 气相沉积炉 沉积腔 室内 伸入 反应生成产物 本实用新型 穿过 加热原料 开口调节 密封连接 沉积炉 沉积盘 加热腔 可旋转 可转动 炉体 落下 连通 开口 体内 | ||
1.一种气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：
加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变成气体；
沉积腔室，设置于加热腔室上方与加热腔室密封连接，且与加热腔室通过连通通道连通，沉积腔室内设置有可转动的沉积机构，沉积机构用于沉积产物，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；
接收机构，用于接收从沉积机构上落下的沉积产物，连通通道穿过接收机构伸入到沉积腔室。
2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，接收机构为接收盘，连通通道穿过接收盘的底部，且连通通道朝向沉积腔室的开口端高于接收盘的底部。
3.根据权利要求2所述的气相沉积炉，其特征在于，连通通道的轴向与接收盘底部垂直。
4.根据权利要求2所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积机构的正投影视图的外围在接收盘的开口的正投影视图的外围内。
5.根据权利要求1～4任意一项所述的气相沉积炉，其特征在于，沉盘的正投影视图为圆形，接收机构的正投影视图为圆形。
6.根据权利要求1～4任意一项所述的气相沉积炉，其特征在于，连通通道至少为两个，连通通道的正投影视图在接收机构的正投影视图上均匀排布。
7.根据权利要求1～4任意一项所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积腔室内还设置有：刮取机构，用于刮取沉积机构上的沉积产物。
8.根据权利要求1～4任意一项所述的气相沉积炉，其特征在于，沉积机构具有中空的沉积机构腔体，沉积机构腔体用于通入冷源对沉积机构进行冷却。
9.根据权利要求8所述的气相沉积炉，其特征在于，还包括驱动机构，沉积机构通过转轴与驱动机构连接，驱动机构用于驱动沉积机构转动，转轴内设置有冷源通道，冷源通道与沉积机构腔体连通，冷源通过冷源通道进入到沉积机构腔体内对沉积机构进行冷却。
10.根据权利要求1～4任意一项所述的气相沉积炉，其特征在于，加热腔室设置有加热腔室入口，用于向加热腔室内通入非氧化性气体。
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