[实用新型]一种格栅式电极板等离子处理真空腔

说明书

本实用新型提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽，本真空腔体将垂直的电极板开槽变成栅栏式，在保证电极板强度和不影响反应区面积的情况下，解决反应气体的流通，溢散不畅，产品的均匀性不好，电源负载大的问题；将电极和产品固定都设置成竖直结构，能够保证每个产品与气体接触均匀。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理设备领域，尤其涉及格栅式电极板等离子处理真空腔。

背景技术

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

现有真空离子处理设备水平结构的电极板为保证放电面积和节约加工本都是使用整块电极板结构，这种结构不利于反应气体的流通，溢散，影响处理整批产品的均匀性，且整片板的结构会给电源负载增加很多压力被迫选择功率较大的电源。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。

优选的，所述板体定位机构包括T形卡合板，所述T形卡合板下部设有定位架，所述定位架包括两块定位卡块，所述定位卡块下设有卡位，所述定位卡块下部设有定位杆所述定位杆下部设有底部支撑机构。

优选的，所述底部支撑机构包括连接于所述定位杆上的卡合块，所述卡合块上设有定位钉，两个定位杆之间的卡合块上连接有支撑板。

本实用新型提出的格栅式电极板等离子处理真空腔有以下有益效果：1、将垂直的电极板开槽变成栅栏式，在保证电极板强度和不影响反应区面积的情况下，解决反应气体的流通，溢散不畅，产品的均匀性不好，电源负载大的问题；2、将电极和产品固定都设置成竖直结构，能够保证每个产品与气体接触均匀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的板体定位机构的示意图；

图3为本实用新型的阳极板的示意图；

其中，1、真空腔体；2、门体；3、密封圈；4、阴极板；5、手拉板；6、阳极板；7、开槽；8、T形卡合板；9、定位卡块；10、定位杆；11、卡合块；12、定位钉；13、支撑板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。