[实用新型]一种格栅式电极板等离子处理真空腔

权利要求书

1.一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。

2.根据权利要求1所述的格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，所述板体定位机构包括T形卡合板，所述T形卡合板下部设有定位架，所述定位架包括两块定位卡块，所述定位卡块下设有卡位，所述定位卡块下部设有定位杆，所述定位杆下部设有底部支撑机构。

3.根据权利要求2所述的格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，所述底部支撑机构包括连接于所述定位杆上的卡合块，所述卡合块上设有定位钉，两个定位杆之间的卡合块上连接有支撑板。