[实用新型]一种纺锤形离子漏斗有效
| 申请号: | 201721558107.3 | 申请日: | 2017-11-21 |
| 公开(公告)号: | CN207542195U | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
| 发明(设计)人: | 侯可勇;王爽;王伟民;赵琨;李海洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号: | H01J49/06 | 分类号: | H01J49/06 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
| 地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 环形电极 离子漏斗 圆形挡板 电极 纺锤形 直流高压电源 等差 电连接 离子传输效率 本实用新型 纺锤形结构 圆环形电极 电场 传统离子 电阻串联 离子损失 射频电源 相邻环形 电容 并联 减小 同轴 左端 漏斗 递减 离子 递增 汇聚 | ||
1.一种纺锤形离子漏斗,用于质谱仪低真空度环境下离子传输,其特征在于:
该离子漏斗包括2N个平板状环形电极、一个圆形挡板电极、三个直流高压电源和一个射频电源,N为大于等于2的整数;2N个圆环形电极的环的宽度,所述宽度为环的外径与内径之差,宽度均相同且同轴等间距依次平行排列;圆形挡板电极位于第N个和第N+1个环形电极之间,圆形挡板电极直径小于第N个环形电极内径,圆形挡板电极左端的N个环形电极的内径从左至右按等差A递增,圆形挡板右端的N个环形电极的内径从左至右按等差A递减,第N个和第N+1个环形电极内径相同,离子漏斗整体上呈纺锤形结构;环形电极分别通过电容与射频电源并联,相邻环形电极之间通过电阻串联后与直流高压电源电连接;圆形挡板电极与直流高压电源电连接。
2.根据权利要求1所述的离子漏斗,其特征在于:
环形电极的个数为偶数;
第1片和第2N片、第2片和第2N-1片、第3片和第2N-2片……第N片和第N+1片环形电极形状和尺寸完全相同;
环形电极的厚度为d,d≥0.1mm;
环形电极间的距离均为L,L≥0.5mm。
3.根据权利要求1所述的离子漏斗,其特征在于:
圆形挡板电极的厚度为d,d≥0.1mm;
圆形挡板电极与环形电极间的距离为(L-d)/2;
整个离子漏斗以圆形挡板电极几何中心处的径向截面呈镜面对称。
4.根据权利要求1所述的离子漏斗,其特征在于:
离子漏斗置于真空腔体内,所述直流高压电源包括第一直流电源、第二直流电源和第三直流电源,第一直流电源和第二直流电源为隔离高压电源,第三直流电源为普通高压直流电源;
第一直流电源的正负极分别连接于第1片和第2N片环状电极;
第二直流电源的正负极分别连接于圆形挡板电极和第2N片环状电极;
第三直流电源的正负极分别连接于第2N片环状电极和真空腔体。
5.根据权利要求1所述的离子漏斗,其特征在于:
所述射频电源可提供两路幅值相同相位相反的射频电压;
所述射频电源的频率可调,幅值可调。
6.根据权利要求1所述的离子漏斗,其特征在于:
所述环形电极的每两片相邻环形电极间通过一个电阻实现直流串联,从左至右奇数环形电极分别通过电容与射频电源正极相连,偶数环形电极分别通过电容与射频电源负极相连,实现交流并联。
7.根据权利要求1或6所述的离子漏斗,其特征在于:
于环形电极和圆形挡板电极四周边缘分别向外延伸出相应的三个片状固定接脚,于片状固定接脚上开设有固定杆穿置通孔,三根圆柱绝缘固定杆分别依次穿过2N个环形电极和圆形挡板电极上的固定杆穿置通孔,相邻环形电极之间、环形电极与圆形挡板电极之间均设有绝缘垫片,于离子漏斗左右二端分别设有绝缘端盖;
所述两个绝缘端盖的中部开有通孔,位于离子漏斗左端的端盖通孔的孔径小于第1片环形电极的内径,位于离子漏斗右端的端盖通孔的孔径大于第2N片环形电极的内径;
绝缘固定杆的两端分别固定于两个绝缘端盖,整个离子漏斗可以通过端盖固定于真空腔体。
8.根据权利要求7所述的离子漏斗,其特征在于:
电阻和电容的焊接点位于每片电极的固定脚上,并不影响电极片主体的电场分布。
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