[实用新型]一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统

权利要求书

1.一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括用于稳定支撑整个模拟系统的调整底座（Ⅰ）、用于产生双通道波长激光的光源（Ⅱ）、用于对两个通道的脉冲激光能量进行衰减的双光路衰减模块（Ⅲ）、用于对半导体器件样品进行成像并进行能量测量的显微观察模块（Ⅳ）、用于采集并记录待测样品辐射电离效应的响应电信号和控制光斑作用位置的测试与控制模块（Ⅴ）；所述光源（Ⅱ）同时产生波长为532nm和1064nm的脉冲激光；所述双光路衰减模块（Ⅲ）设置于光源（Ⅱ）上方，沿两路激光进入方向依次包括有直角棱镜（3）、光路Ⅰ、光路Ⅱ、反射镜二和合束棱镜；两路激光经直角棱镜（3）反射后：一路激光进入光路Ⅰ后经反射镜二（14）后反射到合束棱镜（15），另一路激光经过光路Ⅱ后直接射入合束棱镜（15），两路激光经由合束棱镜（15）合束后反射出；所述光路Ⅰ、光路Ⅱ分别对称位于沿直角棱镜的两个反射角度方向上，光路Ⅰ和光路Ⅱ的结构相同，每个光路均包括位于直角棱镜的反射方向上的反射镜一（4）、位于反射镜一（4）反射方向的第一级1/2λ波片（5）、位于第一级1/2λ波片（5）透射光方向的第一级偏振分光棱镜（6）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的透射光方向的第二级1/2λ波片（7）、位于第二级1/2λ波片（7）透射光方向上的第二级偏振分光棱镜（8）、位于第二级偏振分光棱镜（8）反射光方向上的光束收集器一（9）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的反射光方向的分光棱镜一（10）、位于分光棱镜一（10）透射光方向的激光能量计探头一（11）、位于分光棱镜一（10）反射光方向的光束收集器二（12）、位于第二级偏振分光棱镜（8）透射光方向上的光束匀化器（13），一路激光经过光路Ⅰ的光束匀化器（13）照射到反射镜二（14）并反射到合束棱镜（15），另一路激光经过光路Ⅱ的光束匀化器（13）直接照射到合束棱镜（15），两路激光在合束棱镜（15）合成后射出到后续光路。

2.根据权利要求1所述的一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述调整底座（Ⅰ）包含用于调节调整底座（Ⅰ）的水平位置的调平螺丝（26）和纵向安装于调整底座上的导轨（27）。

3.根据权利要求1所述的一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述光源（Ⅱ）位于调整底座（Ⅰ）上部，包括用于同时产生波长为532nm和1064nm的激光的双波长脉冲激光器（1）和用于进行光路折叠的光路提升器（2）。

4.根据权利要求1所述的一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述显微观察模块（Ⅳ）沿合束棱镜（15）出来的激光方向设置有分光棱镜二（16），分光棱镜二（16）上端设置有显微镜筒与照明光源（18）、摄像头（17），分光棱镜二（16）的透射光方向上设置有激光能量计探头二（19），分光棱镜二（16）的反射光方向设置有可变光斑调节装置（20）；激光经过分光棱镜二（16）后，透射光到达激光能量计探头二（19），反射光经过可变光斑调节装置（20）照射到待测样品（21）上。

5.根据权利要求1所述的一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述测试与控制模块（Ⅴ）包括用于放置待测样品（21）的精密位移平台、示波器（23），所述精密位移平台为六自由度位移平台（22）。

6.根据权利要求1所述的一种优化集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于，所述测试与控制模块（Ⅴ）还包括与六自由度位移平台（22）、示波器（23）信号连接的数据采集与控制卡（24）、用于控制系统与数据采集与控制卡（24）连接的计算机（25）。