[实用新型]一种快速开关脉冲激光器有效

专利信息
申请号: 201721327878.1 申请日: 2017-10-16
公开(公告)号: CN207664437U 公开(公告)日: 2018-07-27
发明(设计)人: 赵晓杰;林德教;迈克尔·海恩斯 申请(专利权)人: 英诺激光科技股份有限公司
主分类号: H01S3/117 分类号: H01S3/117;H01S3/094
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 龙丹丹
地址: 518000 广东省深圳市南山区科技*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 脉冲激光器 功率放大器 切换控制器 种子源 主振荡 门信号控制 激光 快速开关 本实用新型 光转化效率 激光放大 激光损耗 输出机构 输出切换 谐波输出 脉冲 调制 输出
【说明书】:

实用新型公开了一种快速开关脉冲激光器,所述脉冲激光器包括主振荡功率放大器,所述主振荡功率放大器包括相互连接的切换控制器、激光种子源,还包括设置于所述激光种子源之后的激光放大组件和输出机构,所述切换控制器包括门信号控制单元。采用具有门信号控制单元的切换控制器对种子源输出进行脉冲和连续输出切换调制,得到了一种主振荡功率放大器(MOPA)结构,使得得到的脉冲激光器开关速度快,且无额外激光损耗,光转化效率高,尤其适用于激光谐波输出。

技术领域

本实用新型属于脉冲激光技术领域,涉及一种脉冲激光器,具体地说涉及一种可用于微加工的快速开关脉冲激光器。

背景技术

激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度,从而产生热效应来进行材料加工的,该技术具有高效率、高精度、非接触式加工、材料无机械变形的优点,同时由于是局部加工,对非激光照射部位没有影响,激光束易于导向、聚焦、实现方向变换,极易与数控系统配合,可对复杂工件进行加工,是一种极为灵活的加工方法。该方法在工业、科研领域都得到了广泛应用,为优质、高效、环保的加工技术开辟了广阔的前景。

随着工业技术的不断发展,对激光加工的品质及加工效率都提出了更高的要求,对于激光微加工领域中一些要求较为严苛的加工任务来说,普通激光器难以完成,但是脉冲激光(纳秒、皮秒、飞秒)由于具有更好的单色性、发散度极小、功率更高,可被广泛应用于要求严苛的工件加工,同时随着对微纳加工的尺寸、精度、效率的要求的不断提高,相应的对脉冲激光器的开关时间也提出了更高要求。

传统的脉冲激光器调制方式主要包括泵浦调制、声光调制(AOM)技术,其中泵浦调制是一种对泵浦光直接调制的方式,这种方式直接、设备结构简单,光损耗小,但是由于其响应时间较长,导致开关速度慢,一般需达几十微秒。因此,直接泵浦调制技术一般无法满足激光微加工的要求。声光调制技术(AOM)是一种外调制技术,激光输出经过AOM,由门控(Gate)信号给出高低电平控制通过AOM为1级光(出光)或0级光(挡住、不出光),从而实现激光器的快速开关,声光调制具有开关时间短(10-100ns)的优点,但其1级输出存在光转化效率低的问题,通常为80%左右,从而导致约20%的激光输出损失。

实用新型内容

为此,本实用新型所要解决的技术问题在于传统脉冲激光器存在开关速度慢或开关速度与光转化效率无法同时保证的技术问题,从而提出一种开关迅速、激光损耗小的快速开关脉冲激光器。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:

本实用新型提供一种快速开关脉冲激光器,所述激光器包括主振荡功率放大器,所述主振荡功率放大器包括相互连接的切换控制器、激光种子源,还包括设置于所述激光种子源之后的激光放大组件和输出机构;所述切换控制器包括门信号控制单元,所述门信号控制单元控制所述激光种子源在门信号为高电平时输出脉冲激光,所述门信号控制单元控制所述激光种子源在门信号为低电平时输出连续激光。

作为优选,所述激光放大组件包括顺次连接的前置放大器和主放大器,所述前置放大器与所述激光种子源或切换控制器连接,所述主放大器与所述输出机构连接。

作为优选,所述激光种子源为连续和脉冲切换激光种子源,所述输出机构为光学谐波输出系统。

作为优选,所述连续和脉冲切换激光种子源为半导体激光器。

作为优选,所述激光种子源为激光脉冲种子源。

作为优选,所述切换控制器还包括声光调制器、连续输出的单模激光器和耦合器,所述耦合器与所述连续输出的单模激光器、声光调制器连接,所述声光调制器与所述脉冲种子源连接。

作为优选,所述激光脉冲种子源为飞秒振荡器、皮秒振荡器或直接调制的纳秒振荡器。

作为优选,所述输出机构为双色分光镜。

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