[实用新型]一种光学真空镀膜用高温无膨胀夹具有效
| 申请号: | 201721280371.5 | 申请日: | 2017-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN207331050U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
| 发明(设计)人: | 耿浩;张金豹;王明慧;吕红伟;田军;李洋;李薇;张勇;孟凌霄 | 申请(专利权)人: | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人: | 何贯通 |
| 地址: | 454001*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光学 真空镀膜 高温 膨胀 夹具 | ||
本实用新型公开了一种光学真空镀膜用高温无膨胀夹具,包括夹具本体;所述夹具本体为圆环状;所述夹具本体内部下端有定位台阶;所述夹具本体内圆环下部倒角;所述夹具本体材质为陶瓷。本实用新型达到了以下有益效果:本实用新型结构简单、制造和调整方便、成本较低,使用范围广,操作方便。没有来自装夹产生的变形,基本去除装夹变形对零件质量的影响,消除了夹具对零件的卡伤疵病,大幅度提高了劳动效率。
技术领域
本实用新型属薄膜制备工装领域,特别是涉及一种光学真空镀膜用高温无膨胀夹具。
背景技术
随着武器装备向轻量化、智能化方向的发展,大量采用导引头控制的弹药应运而生。这类弹药导引部分皆装有能够截取、跟踪辐射源信号的窗口球罩。这类零件大都具有半球形外观,且一般为整机或部件的关键件或重要件。这类零件在沉积薄膜加工过程中极易卡伤,在造成零件加工不合格众多因素中,50%~70%是由零件的卡伤疵病引起的。导引头球罩零件卡伤疵病,已成为“高新工程”和公司重点产品制造技术中影响加工精度和加工质量的关键因素,是生产过程中的瓶颈技术。传统的装夹方式通常采用硬铝夹具,不可避免产生与零件热膨胀程度不一而卡伤零件。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于克服现有的技术问题,提供了一种光学真空镀膜用高温无膨胀夹具。
为达到上述目的,本实用新型是按照以下技术方案实施的:
一种光学真空镀膜用高温无膨胀夹具,包括夹具本体;所述夹具本体为圆环状;所述夹具本体内部下端有定位台阶;所述夹具本体内圆环下部倒角;所述夹具本体材质为陶瓷。
优选的,所述夹具本体圆环内壁上有凹槽;所述凹槽内安装有辅助卡环;所述辅助卡环宽度大于凹槽深度。
优选的,所述辅助卡环为耐高温弹性材料制成。
优选的,所述夹具本体外部有卡套;所述卡套包裹住夹具本体边缘;所述卡套材质为耐高温弹性制成。
本实用新型作用原理如下:
夹具本体为陶瓷材料,与光学玻璃的膨胀系数接近,高温下,可以防止夹具向外膨胀,孔径变大,导致光学零件向下窜动;温度回落时,孔径向内收缩卡伤零件现象,根本消除热膨胀变形对光学零件质量的影响。夹具本体内部下端设置有凹槽和定位台阶,凹槽内部有辅助卡环,定位台阶用于光学零件的定位,辅助卡环利用其材料本身的弹性辅助固定光学零件。夹具本体内圆环下部倒角,防止光学零件被直角卡住不能准确定位。夹具外部本体外部有卡套,该卡套为耐高温弹性材料制成,方便夹具固定在真空加热旋转求罩中,防止由于夹具本体陶瓷表面过于光滑在旋转中滑动。
光学零件通过夹具本体内部下部定位台阶和内壁上部侧面接触定位,通过辅助卡环固定,然后上盘装载入真空加热旋转球罩中。高温下,零件与夹具一起旋转,进行薄膜沉积,低温下,取件。由于零件与夹具相对膨胀率接近于零,加工中,不产生零件卡入夹具现象,大大降低了取件难度,消除了夹具对零件的卡伤疵病,大幅度提高了劳动效率。
本实用新型达到了以下有益效果:本实用新型结构简单、制造和调整方便、成本较低,使用范围广,操作方便。没有来自装夹产生的变形,基本去除装夹变形对零件质量的影响,消除了夹具对零件的卡伤疵病,大幅度提高了劳动效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型量夹具本体的结构示意图;
图3为本实用新型量的操作示意图。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施例对本实用新型作进一步描述,在此实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。
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