[实用新型]一种低清理频率的高效离子束抛光设备

权利要求书

1.一种低清理频率的高效离子束抛光设备，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，相邻两块格栅板(3)之间设置陶瓷连接块(7)，所述陶瓷连接块(7)的相对两侧分别与两块格栅板(3)固定连接；所述安装块(4)的侧面设置一端敞口的凹槽(6)，所述凹槽(6)的敞口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向，且所述凹槽(6)的孔径从敞口端至内部线性增大。

2.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述陶瓷连接块(7)为与格栅板(3)外缘形状一致的环形结构。

3.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述格栅板(3)呈圆形，格栅板(3)上的通孔(31)分布在格栅板(3)中心位置。

4.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述阳极板(2)通过导线电连接至放电腔(1)外部。

5.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述放电腔(1)上设置输气口(8)。

6.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述钨丝(5)还固定连接在放电腔(1)外壁上。

7.根据权利要求1所述的一种低清理频率的高效离子束抛光设备，其特征在于，所述凹槽(6)的纵截面呈等腰三角形，且所述等腰三角形的顶角位于凹槽(6)的敞口端。