[实用新型]双冷指气缸结构的杜瓦组件有效
申请号: | 201721110200.8 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207380079U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 洪晓麦;傅霖来;黄立;周文洪 | 申请(专利权)人: | 武汉高芯科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R31/28 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张强 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双冷指 气缸 结构 组件 | ||
1.一种双冷指气缸结构的杜瓦组件,包括杜瓦主体(1),其特征在于,所述杜瓦主体(1)包括过渡件和对称设置在所述过渡件两侧的第一冷指部件和第二冷指部件,
所述过渡件包括工装(6)和连接在工装(6)两侧的传热部件,其中,至少一侧的传热部件具有弹性;
每个冷指部件均包括冷指气缸(17)和设置于冷指气缸(17)内侧的冷盘(16),第一冷指部件和第二冷指部件的冷盘(16)分别连接于所述工装(6)两侧的传热部件的外侧。
2.如权利要求1所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,所述两侧的传热部件分别为具有弹性的饶性压片(15)和紫铜块(12)。
3.如权利要求1所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,还包括外壳部件(4),所述外壳部件(4)通过法兰(5)设置于所述杜瓦主体(1)的周向以形成密闭空间,所述外壳部件(4)上设置有与密闭空间内部连通的排气口(3)。
4.如权利要求3所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,所述工装(6)包括上部固定端以及下部连接端,所述上部固定端的上表面设置有凹槽,所述外壳部件(4)在所述凹槽所在位置上方对应处设置有窗口部件。
5.如权利要求4所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,所述窗口部件包括窗框(7)和连接在窗框(7)顶部的窗片(8)。
6.如权利要求1所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,所述第一冷指组件或第二冷指组件的冷盘(16)的内侧连接有陶瓷基片(14)。
7.如权利要求6所述的双冷指气缸结构的杜瓦组件,其特征在于,所述陶瓷基片(14)对应的冷盘(16)一侧的外壳部件(4)侧壁上设置有导电接头(11)。
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