[实用新型]一种膜厚量测设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种膜厚量测设备。

背景技术

在显示产品工艺制程中，经常会使用光学方法量测透明或半透明薄膜厚度，它主要利用椭圆偏振等光学原理，通过光谱拟合公式计算得出膜厚。这种方法与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，但薄膜样品的表面状态以及膜层的非均匀性和吸收状态均对量测有较大影响，使得量测结果与实际膜厚存在一定偏差。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例致力于提供一种膜厚量测设备，以解决现有技术中的设备测量结果与实际膜厚存在偏差从而导致的测量准确率较低的问题。

本实用新型实施例提供的一种膜厚量测设备包括移动装置、与移动装置连接的测厚模块，以及驱动装置；测厚模块通过驱动装置和/或移动装置移动；测厚模块包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块，并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。

在一个实施例中，驱动装置与测厚模块和/或移动装置连接，驱动测厚模块和/或移动装置移动。

在一个实施例中，移动装置包括移动导轨、及与移动导轨连接的第一支架和第二支架，测厚模块分别与第一支架、第二支架连接；驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置，其中，第一驱动装置与移动装置连接，移动装置在第一驱动装置的驱动下沿移动导轨移动，第二驱动装置与测厚模块连接，测厚模块在第二驱动装置的驱动下运动。

在一个实施例中，测厚模块与第一支架、第二支架间通过坦克链连接。

在一个实施例中，移动导轨包括第一部分和第二部分，第一部分和第二部分分别固定于承载台相对的两侧，第一支架和第二支架的两端分别与第一部分和第二部分之间通过滑动或滚动连接。

在一个实施例中，移动装置包括移动导轨、及与移动导轨连接的第一支架和第二支架，测厚模块分别与第一支架、第二支架连接；驱动装置与移动装置连接，驱动移动装置沿移动导轨移动。

在一个实施例中，非接触式测厚模块为光学模块。

在一个实施例中，光学模块为椭偏仪。

在一个实施例中，接触式测厚模块为电学模块。

在一个实施例中，电学模块为台阶仪。

本实用新型实施例提供的膜厚量测设备利用接触式量测结果非常精确及非接触式量测与样品非接触、不需要真空环境且量测速度快等优点，将接触式测厚模块与非接触式测厚模块结合起来，分别实现对样品的厚度测量，然后将接触式量测结果对非接触式量测结果进行补偿运算，不需要繁琐的制样过程，即可得出实际的膜厚结果，既保证了量测的准确性，减少了对膜层的损伤，又节约了量测时间。另外，因非接触式测厚模块可为光学模块，使得该设备可根据光学量测在同种光学模型下其结果与实际膜厚具有定量偏差的特性，在同种光学模型只需要进行一次补偿值运算，再将这个补偿值直接加到同一光学模型下的其他光学量测结果上即可得到对应的实际膜厚结果，操作简便，重复性较好。

附图说明

图 1所示为本实用新型一实施例提供的一种膜厚量测设备的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种膜厚量测设备，包括移动装置、与移动装置连接的测厚模块，以及驱动装置。测厚模块通过驱动装置和/或移动装置移动，该测厚模块具体包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块，并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。

在本实用新型一实施例中，驱动装置与测厚模块和/或移动装置连接，驱动测厚模块和/或移动装置移动，也就是说驱动装置既可与测厚模块和移动装置分别连接，实现对测厚模块和移动装置的分别驱动，也可只驱动移动装置运动，由移动装置带动测厚模块移动。