[实用新型]一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头

权利要求书

1.一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件（1）上的转动接头（2），其特征在于：在转动接头（2）的外部套设有保护衬套（3），且转动接头（2）与保护衬套（3）之间通过相配合的凸台（301）和凹槽（201）实现两者的同步转动；所述保护衬套（3）外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套（4）内，且在压头轴套（4）上设置有顶紧螺栓（5），通过拧动顶紧螺栓（5），使保护衬套（3）受到挤压并与转动接头（2）紧密配合。

2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，其特征在于：所述凹槽（201）设置在转动接头（2）的上部，且与转动接头（2）的轴向平行设置，其一端延伸至转动接头（2）的顶部形成开口，以使设置在保护衬套（3）内壁的凸台（301）能够沿该开口卡入凹槽（201）内。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，其特征在于：所述凸台（301）的长度为保护衬套（3）高度的一半，其宽度略小于凹槽（201）的宽度，以使其与凹槽（201）形成间隙配合，凸台（301）的高度不超过凹槽（201）的深度。

4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，其特征在于：所述转动接头（2）与保护衬套（3）之间为间隙配合，以通过顶紧螺栓（5）实现转动接头（2）与保护衬套（3）的摩擦面接触。

5.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，其特征在于：所述顶紧螺栓（5）设置在保护衬套（3）的上部。