[实用新型]用于承载掩膜板的承载台、掩膜板、掩膜板固定组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种用于承载掩膜板的承载台、掩膜板、掩膜板固定组件。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体)显示的实现方式有LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)背板+精细金属掩膜(FMM Mask)方式。利用掩膜板进行蒸镀之前，需要把掩膜板放置于光刻系统中的承载台上，光刻前需保证Mask Mark(掩膜板标记)在CCD视野范围之内，Align(光刻)才可能成功。这样掩膜板要被限制或固定在一个区域内。目前的固定方式为四边轴承固定，在掩膜板定位过程中，轴承起导向和限位的双重作用，如图1所示。但是，这种固定方式存在以下不足：

1.由于轴承起导向作用，经常受掩膜板挤压力，容易松动导致位置发生偏移，从而限位作用产生大的误差，导致掩膜板上的标记偏离出CCD视野范围之外，从而导致光刻失败。

2.理想状况下掩膜板到达预定位置后各边与固定轴承分离，距离为0.1mm。但是实际情况下掩膜板与固定轴承的相对位置并不固定，有时会发生掩膜板的一边与轴承紧贴，这样掩膜板边缘受力，边缘FMM Sheet PPA(掩膜板边缘受力不均会发生偏移，这样在蒸镀时蒸镀膜会相对于像素发生一个位置偏移，由此产生的偏移量称为PPA)发生变化，造成显示器件边缘混色。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于承载掩膜板的承载台、掩膜板、掩膜板固定组件，提高掩膜板在承载台上的位置稳定性，降低混色发生比率。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于承载掩膜板的承载台，所述承载台上设置有能够与待承载掩膜板上第二固定结构相配合的第一固定结构，所述第一固定结构包括设置在所述承载台上能够与所述待承载掩膜板的边缘区域接触的多个支撑杆，通过所述第一固定结构与所述第二固定结构相配合，能够使得待承载掩膜板在第一状态和第二状态之间切换，

其中，第一状态下，所述待承载掩膜板与多个支撑杆中的第一支撑杆接触且绕所述第一支撑杆的轴线在水平面内旋转，在第二状态下，所述待承载掩膜板与多个支撑杆中的至少两个支撑杆接触且相对所述承载台固定。

进一步的，所述第一固定结构包括对应于所述掩膜板四个边角设置于所述承载台上的四个支撑杆。

进一步的，所述支撑杆与所述掩膜板接触的一端为球面结构。

进一步的，还包括用于调整每个所述支撑杆高度以使得所述承载台上的掩膜板位于水平面的调整结构，所述调整结构包括可伸缩设置的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和所述第二连接杆连接形成所述支撑杆的杆体。

本实用新型还提供一种掩膜板，所述掩膜板上设有能够与用于承载掩膜板的承载台上的第一固定结构相配合的第二固定结构，所述第二固定结构包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第一连接部，所述第一连接部能够与所述第一固定结构配合以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动；

所述第二固定结构还包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第二连接部，所述第二连接部能够与所述第一固定结构配合以使得所述掩膜板相对于所述承载台固定。

进一步的，所述第一连接部为设置于所述掩膜板第一边角的第一凹槽，所述第一凹槽的内表面与所述第一固定结构相配合以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动的曲面结构。

进一步的，所述第二连接部为设置于所述掩膜板第二边角的第二凹槽，该第二凹槽为一条形凹槽，条形凹槽的长度方向和第一方向相垂直，所述第一方向为与所述掩膜板的旋转反向相切的切线方向，所述第二边角与所述第一边角相邻或相对。

进一步的，所述第二凹槽在垂直于掩膜板的方向上的截面为梯形，且该梯形远离所述承载台的一边的长度小于梯形靠近所述承载台的一边的长度。

本实用新型还提供一种掩膜板固定组件，包括掩膜板和用于承载掩膜板的承载台，还包括相配合以将掩膜板限定于所述承载台上的预设区域的第一固定结构和第二固定结构；

所述第一固定结构包括设置于所述承载台上的、能够与所述掩膜板的边缘区域接触的多个支撑杆；

所述第二固定结构包括设置于所述掩膜板面向所述承载台的一面的边缘区域的第一连接部，所述第一连接部能够旋转的连接于多个所述支撑杆中的第一支撑杆上、以使得所述掩膜板在水平面上旋转运动；