[实用新型]一种持续均匀进料的真空蒸镀源有效
| 申请号: | 201720311112.8 | 申请日: | 2017-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN206680566U | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
| 发明(设计)人: | 谭标辉 | 申请(专利权)人: | 苏州博亚科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 持续 均匀 进料 真空 蒸镀源 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空蒸镀领域,特别是涉及一种持续均匀进料的真空蒸镀源。
背景技术
现有的真空蒸镀源,不能持续进料,在长时间不间断的进行真空蒸镀时,容易发生源料不足的情况,只能停止后,再添加后,才能继续蒸镀,给生产带来一定不便。
发明内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种持续均匀进料的真空蒸镀源,可连续均匀的进料,并可最大限度利用热能对源料进行加热,减少了能耗损失,降低成本。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种持续均匀进料的真空蒸镀源,它包括蒸镀源本体;所述蒸镀源本体的左侧固定有与蒸镀源本体气路连接的加压气泵,右侧固定有进料仓;所述进料仓下连接有进料装置;所述蒸镀源本体的底部设置有源料加热圆板;所述源料加热圆板上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗;相邻的两圈盛料碗之间设置有环形加热管;所述源料加热圆板上方还设置有铺料杆;所述铺料杆的中间与设置在蒸镀源本体下方的伺服电机连接;所述蒸镀源本体的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴;所述进料装置包括管腔;管腔的左端插至蒸镀源本体的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口;所述管腔中设置有送料杆;所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部、右端设置为直杆推料部。
所述进料仓的顶部设置有密封盖。
所述送料杆的直杆推料部从螺杆旋转送料部的右端与进料口右边缘平齐右移至螺杆旋转送料部的左端与进料口左边缘平齐,进料仓的源料进入管腔并填满螺杆旋转送料部与管腔的空隙;送料杆的直杆推料部从螺杆旋转送料部的左端与进料口左边缘平齐左移至螺杆旋转送料部的左端与管腔左端口平齐时,直杆推料部旋转带动螺杆旋转送料部旋转,将填满在螺杆旋转送料部与管腔的空隙的源料旋出至源料加热圆板上,此时直杆推料部的左端位于进料口左边缘的左侧。
所述铺料杆为直杆或S型弯杆。
本实用新型的有益效果:本实用新型的一种持续均匀进料的真空蒸镀源,采用的进料装置可在蒸镀源加压的情况下,依然可持续均匀的进料,保证了气密性,防止空气进入管腔,而且采用了多个盛料碗排列的源料加热圆板,并设置环形的加热管,由于填入盛料碗的量均一且定量,可最大限度利用加热管产生的热能,减少了能耗损失,降低成本。
附图说明
图1为实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源的示意图;
图2为实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源的源料加热圆板部分的示意图。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解,下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述,该实施例仅用于解释本实用新型,并不对本实用新型的保护范围构成限定。
实施例
如图1和图2所示,本实施例提供了一种持续均匀进料的真空蒸镀源,它包括蒸镀源本体1;所述蒸镀源本体1的左侧固定有与蒸镀源本体1气路连接的加压气泵2,右侧固定有进料仓3;所述进料仓3下连接有进料装置4;所述蒸镀源本体1的底部设置有源料加热圆板5;所述源料加热圆板5上呈圆形一圈一圈向外扩散式分布有多个盛料碗7;相邻的两圈盛料碗7之间设置有环形加热管6;所述源料加热圆板5上方还设置有铺料杆9;所述铺料杆9的中间与设置在蒸镀源本体1下方的伺服电机连接;所述蒸镀源本体1的顶部呈圆锥形并在尖端处设置喷嘴10;所述进料装置4包括管腔;管腔的左端插至蒸镀源本体1的内部、中间设置有从加料仓进料的进料口;所述管腔中设置有送料杆;所述送料杆的左端设置为螺杆旋转送料部11、右端设置为直杆推料部12;所述进料仓3的顶部设置有密封盖13;所述送料杆的直杆推料部12从螺杆旋转送料部11的右端与进料口右边缘平齐右移至螺杆旋转送料部11的左端与进料口左边缘平齐,进料仓的源料进入管腔并填满螺杆旋转送料部11与管腔的空隙;送料杆的直杆推料部12从螺杆旋转送料部11的左端与进料口左边缘平齐左移至螺杆旋转送料部11的左端与管腔左端口平齐时,直杆推料部12旋转带动螺杆旋转送料部11旋转,将填满在螺杆旋转送料部11与管腔的空隙的源料旋出至源料加热圆板5上,此时直杆推料部12的左端位于进料口左边缘的左侧;所述铺料杆9为直杆或S型弯杆。
本实施例的一种持续均匀进料的真空蒸镀源,采用的进料装置可在蒸镀源加压的情况下,依然可持续均匀的进料,保证了气密性,防止空气进入管腔,而且采用了多个盛料碗排列的源料加热圆板,并设置环形的加热管,由于填入盛料碗的量均一且定量,可最大限度利用加热管产生的热能,减少了能耗损失,降低成本。
上述实施例不应以任何方式限制本实用新型,凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本实用新型的保护范围内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州博亚科技有限公司,未经苏州博亚科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720311112.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类





