[实用新型]一种可精密调节间距的扩膜机有效
| 申请号： | 201720300063.8 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN207097854U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;熊兆斌;覃丽环;杨扬 | 申请（专利权）人： | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区大良*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精密 调节 间距 扩膜机 | ||
【权利要求书】：
1.一种可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，包括：气缸和机械装置；
所述气缸内设置有压力传感器和活塞，所述机械装置内设置有按键部件、精密马达和单片机系统；
所述压力传感器、按键部件、精密马达均和单片机系统连接；所述精密马达还和活塞连接。
2.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，还包括：金属棒；
所述精密马达通过金属棒还和活塞连接。
3.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，还包括：数据显示模块；
所述数据显示模块和单片机系统连接。
4.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，所述按键部件包括：第一按键，第二按键；
所述第一按键、第二按键均和单片机系统连接。
5.根据权利要求1所述的可精密调节间距的扩膜机，其特征在于，所述压力传感器的数量为至少两个。
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