[实用新型]一种光学测量台架装置

权利要求书

1.一种光学测量台架装置，其特征在于，该台架结构从上至下包括：均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述均匀照明系统包括光束变换元件，所述均匀照明系统通过光源传输模块支架与平板相连，用于提高光源光能分布的均匀性和光束的稳定性。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述平板支撑结构包括透镜部件及多个位移传感器，所述平板支撑结构在X、Y、Z、θx、θy五个自由度上实现调节。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下层支撑框架包括基础框架，其底部具有四个高度水平位移调节块，所述四个高度水平位移调节块分别与最下层可移动气浮基座的螺栓相连接，所述下层支撑框架的中部具有四个加强筋块，所述四个加强筋块都与最下层可移动气浮基座相连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移台具有运动集成部件，使其在X、Y两自由度宏动、在X、Y、Z、θx、θy、θz六自由度微动，用于运载图像采集模块采集不同位置的成像，所述位移台直接安装于可移动气浮基座上。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可移动气浮基座用于承载整个检测系统，其包括基座，在所述基座之上具有四个气浮隔振器，在所述可移动气浮基座的底部具有四支万向轮。