[实用新型]一种强流低能团簇离子束导向装置

权利要求书

1.一种强流低能团簇离子束导向装置，至少包括一对间隔分布的电极和一对设置于电极周围的磁铁，其特征在于：所述电极通过一对绝缘体固定并且与磁铁相互隔离，两个电极之间区域构成离子束通道；所述磁铁和绝缘体通过位于磁铁两端的一对极靴固定，磁铁位于电极外侧，两个磁铁均为永磁铁或电磁铁。

2.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述绝缘体内侧面的中部向上突出构成卡槽，两个绝缘体的卡槽槽口相对，两个电极分别固定于两个绝缘体的卡槽中，磁铁与绝缘体的外侧面相接触。

3.根据权利要求2所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述极靴的中部向上凸起构成限位凸台，限位凸台抵紧绝缘体卡槽的槽壁，极靴的位于限位凸台两侧的部位开设有与磁铁端部形状相匹配的凹槽，磁铁的两端分别嵌于两个极靴位于同侧的凹槽中。

4.根据权利要求3所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述限位凸台的根部设有台阶，绝缘体固定于两个极靴的台阶阶面和限位凸台所限定的区域中。

5.根据权利要求4所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述台阶的阶面高于凹槽的槽底。

6.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：两个电极相对的表面为镜面。

7.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述绝缘体与磁铁和电极均紧密接触。

8.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述绝缘体为聚四氟乙烯绝缘体。

9.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述电磁铁由铁芯和绕制式线圈构成。

10.根据权利要求1所述的强流低能团簇离子束导向装置，其特征在于：所述永磁铁由SmCo₅稀土永磁材料构成。