[实用新型]一种用于半导体晶圆的便携提篮

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体治具领域，特别涉及一种用于半导体晶圆的提篮。

背景技术

半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后，还要进行一系列操作，如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。晶圆就是指单晶硅圆片，为了便于转移晶圆，通常将多个晶圆等间隔排列放置在提篮中，通过移动提篮就可以转移晶圆以便对晶圆表面的IC电路进行检查。目前的提篮侧面安装有把手，其不足之处在于：普通把手的结构简单，操作人员握住把手时，整个提篮的重量都作用在操作人员的手部，由于把手与手部之间的接触面积很小，导致压强很大，操作人员手部被勒得很疼；普通把手的上下结构对称，操作人员抓取把手时会误将提篮的开口朝下放置，导致提篮内的晶圆掉落，摔坏晶圆，影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于半导体晶圆的便携提篮，提篮的把手更加方便操作人员抓握，提高了抓握把手时的舒适性，确保移动提篮时提篮的开口朝上，避免提篮内的晶圆掉落摔坏。

本实用新型的目的是这样实现的：一种用于半导体晶圆的便携提篮，包括可以盛放晶圆的提篮，提篮侧面安装有把手，所述提篮侧面设置有两个一左一右互相对应的把手，提篮侧面还设置有上横梁和下横梁，上横梁和下横梁之间设置有两根平行的竖直轴，所述把手分别转动连接在对应竖直轴上，把手呈U型，把手由上水平边框、下水平边框以及连接上水平边框和下水平边框端部的竖直边框组成，竖直边框的上端倾斜设置，竖直边框朝向竖直轴的一侧从上到下分别设置有四个形状与人的手指相吻合的抓握凹槽。

本实用新型使用时，先将晶圆等间隔排列放置在提篮内，然后转动两个把手使其互相靠拢，单手伸进上水平边框、下水平边框和竖直边框围成的缺口中，大拇指放置在竖直边框上端的倾斜面上，其余四根手指分别靠在对应抓握凹槽中，操作人员手部抓握住两个把手就可以将提篮转移到任意位置。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：把手上的四个抓握凹槽形状分别与食指、中指、无名指、小指相吻合，大拇指可以放在把手上的倾斜面上，抓握把手时更加舒适，符合人机工程学，避免作用在手部的压强过大以致勒疼手部；把手上的抓握凹槽与食指、中指、无名指、小指分别对应，避免拿反把手，防止提篮内的晶圆掉落在地面上，起到保护产品的作用。

为了进一步提高操作人员抓握把手时的舒适性，所述抓握凹槽在竖直边框上从上到下倾斜排列设置。倾斜排列设置的抓握凹槽能够使得提篮的压力均匀作用在手部，避免手部被勒得太疼，抓握把手时更加舒适。

作为本实用新型的进一步改进，所述把手采用金属材料制成。该技术方案能够保证把手的强度，延长使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为把手的立体结构示意图。

图3为把手的主视图。

图4为本实用新型使用时的结构示意图。

其中，1提篮，2把手，2a上水平边框，2b下水平边框，2c竖直边框，3上横梁，4下横梁，5竖直轴，6抓握凹槽。

具体实施方式

如图1-3所示，为一种用于半导体晶圆的便携提篮，包括可以盛放晶圆的提篮1，提篮1侧面安装有把手2，把手2采用金属材料制成；提篮1侧面设置有两个一左一右互相对应的把手2，提篮1侧面还设置有上横梁3和下横梁4，上横梁3和下横梁4之间设置有两根平行的竖直轴5，把手2分别转动连接在对应竖直轴5上，把手2呈U型，把手2由上水平边框2a、下水平边框2b以及连接上水平边框2a和下水平边框2b端部的竖直边框2c组成，竖直边框2c的上端倾斜设置，竖直边框2c朝向竖直轴5的一侧从上到下分别设置有四个形状与人的手指相吻合的抓握凹槽6。抓握凹槽6在竖直边框上从上到下倾斜排列设置。

如图4，使用时，先将晶圆等间隔排列放置在提篮1内，然后转动两个把手2使其互相靠拢，单手伸进上水平边框2a、下水平边框2b和竖直边框2c围成的缺口中，大拇指放置在竖直边框2c上端的倾斜面上，其余四根手指分别靠在对应抓握凹槽6中，操作人员手部抓握住两个把手2就可以将提篮1转移到任意位置。本装置的优点在于：把手上的四个抓握凹槽形状分别与食指、中指、无名指、小指相吻合，大拇指可以放在把手上的倾斜面上，抓握把手时更加舒适，符合人机工程学，避免作用在手部的压强过大以致勒疼手部；把手上的抓握凹槽与食指、中指、无名指、小指分别对应，避免拿反把手，防止提篮内的晶圆掉落在地面上，起到保护产品的作用。

本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。