[发明专利]一种保护OVD传动丝杆的装置及方法在审
| 申请号： | 201711467010.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108147656A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;崔德运;向德成;何炳;贺程程;谈悠儒;刘建忠;王兵钦;满小忠;朱坤 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215233 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷灯 保护罩 丝杆 传动丝杆 疏松体 氮气 水平度 对丝 报废 沉积工艺过程 温度传感器 压力传感器 滑动安装 拉丝工序 密度分布 前后运动 正压空腔 通气孔 预制棒 导轨 拉丝 优化 合格率 光纤 | ||
【权利要求书】：
1.一种保护OVD传动丝杆的装置，其特征在于：包括滑动安装在导轨上的喷灯平台，所述喷灯平台上安装有若干喷灯；对应喷灯平台的传动丝杆，设置有丝杆保护罩，所述丝杆保护罩上设有若干通气孔，在丝杆保护罩内通入有氮气，其内部形成正压空腔；所述丝杆保护罩内设有用于控制氮气通入流量的温度传感器和压力传感器。
2.根据权利要求1所述的一种保护OVD传动丝杆的装置，其特征在于：所述丝杆保护罩采用不锈钢罩。
3.根据权利要求1所述的一种保护OVD传动丝杆的装置，其特征在于：所述喷灯平台呈U型结构。
4.根据权利要求1所述的一种保护OVD传动丝杆的装置，其特征在于：所述通气孔指向OVD沉积腔。
5.根据权利要求1所述的一种保护OVD传动丝杆的装置，其特征在于：所述通气孔均布设置，其直径为1-1.5cm。
6.一种利用权利要求1所述的装置在OVD沉积过程中保护丝杆的方法，其特征在于，包括以下步骤：
①在沉积开始前，向丝杆保护罩内通入氮气，在沉积的过程中，保持丝杠始终接受氮气的吹扫冷却；
②在沉积过程中，根据丝杆保护罩内的温度和压力的变化，调整氮气通入的流量，使丝杆保护罩内始终维持压力大于OVD沉积腔内压力的正压环境。
7.根据权利要求6所述的一种在OVD沉积过程中保护丝杆的方法，其特征在于：所述丝杆保护罩内的压力维持在5-10Pa。
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