[发明专利]适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统

权利要求书

1.适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：包括钨铜靶板和多个探针组件构成的集成化模块，其中钨铜靶板包括铬锆铜基座，铬锆铜基座中设有空腔，铬锆铜基座顶部敞口，且敞口处从下至上依次盖合连接有无氧纯铜适应层、钨片，铬锆铜基座的空腔被中间隔座隔分为两个水冷管道，两个水冷管道的后端通过连接管连通，其中一个水冷管道前端连接有进水管，另一个水冷管道前端连接有出水管，从钨片顶面中间位置向下竖直设有多个探针孔，多个探针孔沿水冷管道长边方向排列，每个探针孔分别竖直贯通钨片、无氧纯铜适应层、铬锆铜基座的中间隔座，多个探针组件一一对应安装在探针孔中，探针组件上端从探针孔位于钨片顶面的孔口露出或与钨片顶面齐平，探针组件下端连接有导线，导线从探针孔位于铬锆铜基座底面的孔口穿出；

所述探 针孔为上细下粗的阶梯孔，其中小孔位于钨片及无氧纯铜适应层中，大孔位于铬锆铜基座 的中间隔座中；

所述探针组件包括同轴设置在大孔内上端的前端陶瓷圈、同轴设置在大孔内并位于前端陶瓷圈下方的后端陶瓷圈，前、后端陶瓷圈的圈孔均为阶梯通孔，且前端陶瓷圈贴紧阶梯孔中大孔与小孔交界处；大孔内位于前、后端陶瓷圈之间同轴设有铜连接件，铜连接件为阶梯圆柱形，铜连接件上、下端分别对应装配在前端陶瓷圈、后端陶瓷圈的圈孔中，由前、后端陶瓷圈固定准直铜连接件，且铜连接件与铬锆铜基座绝缘隔离；

铜连接件上、下端端面分别加工有螺纹孔，其中铜连接件上端的螺纹孔同轴螺纹连接有探针头，探针头向上从探针孔位于钨片顶面的孔口穿出，或者探针头上端与钨片顶面齐平；

所述探针组件还包括同轴设在大孔内下端的紧定螺钉，阶梯孔中大孔内下端成型有内螺纹，顶紧螺钉螺纹装配在大孔内下端，顶紧螺钉中间同轴设有通孔，大孔内位于顶紧螺钉和后端陶瓷圈之间设有弹簧垫圈，由顶紧螺钉、后端陶瓷圈夹持弹簧垫圈；

铜连接件下端螺纹孔同轴螺纹连接有接线螺钉，接线螺钉下端穿过弹簧垫圈并伸入顶紧螺钉的通孔中，且接线螺钉下端加工为管状延伸部，管状延伸部中连接有导线，导线从顶紧螺钉的通孔下端穿出并最终从铬锆铜基座底面穿出。

2. 根据权利要求1所述的适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：所述顶 紧螺钉底面设置有矩形槽口，以便能使用工具拧紧螺钉，牢固固定探针组件，顶紧螺钉拧紧 后做冲边防松处理。

3. 根据权利要求1所述的适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：所述导 线为耐高温玻璃丝云母编织铜导线。

4. 根据权利要求1所述的适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：所述连 接管、进水管和出水管均为不锈钢材质，通过钎焊方式与铬锆铜基座的水冷管道对应端连 接；进水管和出水管分别与外系统水冷管道通过焊接相连，构成一个水冷环路，实现对本发 明系统的整体冷却。

5. 根据权利要求1所述的适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：所述探针头采用石墨材料加工而成，探针头下端为螺纹柱，该端螺合在铜连接件上端螺孔内；探针头上端为球顶部，球顶部突出于钨片顶面，球顶部下方为圆柱，圆柱与螺纹柱之间为两侧削平的圆柱，以便于使用特制夹具夹紧，并拧紧螺纹，其尺寸大于两端圆柱和螺纹柱直径，以与前端陶瓷圈贴紧。

6. 根据权利要求1所述的适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：所述探针头采用钨铜材料制备而成，探针头下端为螺纹柱，该端螺合在铜连接件上端螺孔内；探针头上端为球顶部，探针头上端的球顶部顶端为平顶圆柱状，平顶部 顶端与钨片顶面齐平，即构成齐平探针形式，以避免球顶突出导致温度过于集中而使钨探 针头熔化发生黏连现象；同时由于钨材料无法加工螺纹，故其螺纹端为钨圆柱表面通过热 压方式与无氧纯铜圆套管进行焊接连接，然后再加工螺纹。