[发明专利]光罩装载装置和曝光机在审
| 申请号： | 201711392300.9 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108121173A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 黄正;孙飞磊;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩 装载装置 曝光机 装载 进气单元 挡板 光罩表面 颗粒污染 排气单元 曝光效果 吹扫 相隔 残留 传输 外部 引入 | ||
1.一种光罩装载装置，用于将光罩转移到一装载主体，其特征在于，包括：
腔室，包括腔门和挡板，所述腔门和挡板均为开关装置，所述腔门用于向所述腔室内转移光罩，所述挡板用于将所述腔室与装载主体隔开以及向所述装载主体转移光罩；
进气单元，与所述腔室连接，用于向所述腔室通入吹扫气体；
排气单元，与所述腔室连接，用于将腔室内的气体排到腔室外部。
2.如权利要求1所述的光罩装载装置，其特征在于，利用采用标准机械接口的光罩盒盛放所述光罩并将所述光罩自所述腔门处转移到所述腔室内。
3.如权利要求1所述的光罩装载装置，其特征在于，所述腔室还包括一装载台，用于承载转移至所述腔室内的所述光罩。
4.如权利要求3所述的光罩装载装置，其特征在于，所述装载台为平面，并且通过真空吸附或者卡位的方式固定转移至所述腔室内的所述光罩。
5.如权利要求3所述的光罩装载装置，其特征在于，所述装载台是可升降结构。
6.如权利要求3所述的光罩装载装置，其特征在于，所述腔室还包括防静电部件，所述防静电部件与所述装载台连接。
7.如权利要求1所述的光罩装载装置，其特征在于，所述进气单元包括位于腔室内的喷头。
8.如权利要求7所述的光罩装载装置，其特征在于，所述喷头是可移动结构。
9.如权利要求1～8中任一项权利要求所述的光罩装载装置，其特征在于，所述吹扫气体为氮气。
10.一种曝光机，其特征在于，包括如权利要求1～9中任一项权利要求所述的光罩装载装置。
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