[发明专利]电子产品生产设备

权利要求书

1.电子产品生产设备，包括机架，其特征在于：还包括移动机构和压平机构；所述移动机构包括支撑板、滑动齿条和用于使所述支撑板平移的移动器；所述支撑板上设有用于固定晶圆的固定部，且支撑板的两端分别连接一所述滑动齿条；所述滑动齿条与所述机架滑动连接；所述压平机构包括压平气囊和对称设在压平气囊两端的滚动单元，所述压平气囊表面设有若干凸起；所述滚动单元包括滚球、滚动齿轮和刚性连接部；所述滚球与所述压平气囊固定连接；所述滚动齿轮与所述滑动齿条啮合，且滚动齿轮与所述机架转动连接；所述刚性连接部一端与所述滚球连接，刚性连接部另一端与所述滚动齿轮连接；

所述刚性连接部包括拉簧和伸缩管；所述伸缩管一端与所述滚球连接，伸缩管另一端与所述滚动齿轮连接，且伸缩管的纵截面呈多边形；所述拉簧一端与所述滚球连接，拉簧另一端与所述滚动齿轮连接。

2.根据权利要求1所述的电子产品生产设备，其特征在于：所述伸缩管包括外套管和内滑管；所述外套管与所述滚动齿轮连接；所述内滑管一端滑动连接在外套管内，内滑管另一端与所述滚球连接；且外套管和内滑管的纵截面均为方形。

3.根据权利要求1所述的电子产品生产设备，其特征在于：还包括升降螺杆，所述升降螺杆的一端与所述支撑板螺纹连接，升降螺杆的另一端滑动连接在所述机架内，且支撑板的两端与所述滑动齿条的侧壁滑动连接。

4.根据权利要求2或3所述的电子产品生产设备，其特征在于：所述固定部为圆形的凹槽，所述凹槽的圆周上设有一缺口。

5.根据权利要求4所述的电子产品生产设备，其特征在于：所述滚球为钢球，且所述机架上设有与所述钢球滑动连接的滑轨。