[发明专利]一种柔性传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711297014.4 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108106639A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张由婷;胡海峰;张明;曾亭;马伟杰;许占齐;朱顺成 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;B32B25/04;B32B27/30;B32B33/00;B32B37/24;B32B38/10;B32B38/16 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性传感器 导电层 基底层 导电触点 可塑 制备 橡皮 感应信号 制备材料 钝化层 传感器 基底 拉伸 传导 | ||
1.一种柔性传感器，其特征在于，该传感器包括：由柔性可塑的橡皮形成的基底层、位于所述基底层上的导电层、位于所述导电层上的导电触点和钝化层以及通过所述导电触点与所述导电层相连的用于传导感应电流的导线。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述柔性可塑的橡皮包括无聚氯乙烯或橡胶或热塑性橡胶。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述导电层的制备材料包括多壁碳纳米管。
4.一种如权利要求1-3任一项所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，该方法包括：
对柔性可塑的橡皮进行拉伸处理，形成基底层；
在所述基底层上沉积导电材料，形成导电层；
在所述导电层上形成导电触点和钝化层；
连接用于传导感应电流的导线和所述导电触点。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述柔性可塑的橡皮为由无聚氯乙烯或橡胶或热塑性橡胶制备的。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述导电材料包括多壁碳纳米管颗粒。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述基底层上沉积导电材料，形成导电层，包括：
在所述基底层上沉积所述多壁碳纳米管颗粒；
对沉积的所述多壁碳纳米管颗粒进行压延处理，形成第一导电层；
对所述第一导电层进行压制处理，直到所述第一导电层的厚度达到预设厚度阈值，形成第二导电层。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述厚度阈值为根据所述柔性传感器预设的出厂电阻和沉积的所述多壁碳纳米管颗粒的重量确定的。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，对沉积的所述多壁碳纳米管颗粒进行压延工艺，包括：
利用压辊通过在沉积的所述多壁碳纳米管颗粒上滚动，将所述多壁碳纳米管颗粒压成第一导电层。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，对所述第一导电层再次压制，直到所述第一导电层的厚度达到预设厚度阈值，形成第二导电层，包括：
利用机械压力机沿着所述第一导电层的厚度方向，对所述第一导电层进行压制，直到所述第一导电层的厚度达到预设厚度阈值，形成第二导电层。
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