[发明专利]显影液管理装置

权利要求书

1.一种显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置具备控制机构及显示机构，

所述控制机构具备：

数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；以及

控制部，其将根据所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，

所述显示机构显示从所述显影液获得的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方。

2.根据权利要求1所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置还具备对显示于所述显示机构的显示对象进行切换的显示切换机构。

3.根据权利要求1或2所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置还具备多个测定装置，所述多个测定装置对包含与所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述显影液的特性值及与所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述显影液的特性值在内的所述显影液的多个特性值进行测定，

所述控制机构还具备运算部，所述运算部根据由所述多个测定装置测定出的所述显影液的多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。

4.根据权利要求1或2所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

多个测定装置，其对包含与所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述显影液的特性值及与所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述显影液的特性值在内的所述显影液的多个特性值进行测定；以及

运算机构，其根据由所述多个测定装置测定出的所述显影液的多个特性值并使用多变量解析法来算出所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。

5.根据权利要求1或2所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置具备密度仪，

所述控制机构还具备运算部，所述运算部基于所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度值。

6.根据权利要求1或2所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

密度仪；以及

运算机构，其基于所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度值。

7.一种显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置具备控制机构及显示机构，

所述控制机构具备：

数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；以及

控制部，其将根据所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，

所述显示机构将从所述显影液获得的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方以测定時刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。

8.根据权利要求7所述的显影液管理装置，其中，

所述显影液管理装置还具备对显示于所述显示机构的显示对象进行切换的显示切换机构。