[发明专利]阵列基板及其制造方法

说明书

本申请公开了一种阵列基板及其制造方法，属于显示技术领域。所述阵列基板包括：衬底基板；所述衬底基板上依次设置有底电极、钝化层、辅助电极、电致发光层和顶电极；其中，所述钝化层上设置有过孔，所述底电极与所述辅助电极通过所述过孔电连接，所述底电极和所述顶电极均能够反射光线，所述辅助电极能够透射光线，且所述底电极和所述顶电极中存在至少一个电极的材质为半透半反材质。本申请解决了OLED显示装置的制造效率较低的问题，提高了OLED显示装置的制造效率，本申请用于显示装置的制造。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种阵列基板及其制造方法。

背景技术

在显示技术领域，有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示装置具有自发光、高响应速度、高色域、广视角、超薄和低功耗等优点，可广泛应用于照明、大尺寸电视和柔性手机中，成为继液晶显示装置之后主流的显示装置。

一般常见的OLED显示装置中的阵列基板包括：在衬底基板上依次叠加的底电极、电致发光层及顶电极。当向底电极和顶电极施加电压时，底电极上产生的空穴和顶电极上产生的电子分别进入电致发光层，并在电致发光层中结合发光。需要说明的是，通常底电极为反射率较高的材质，顶电极为半透半反材质，底电极和顶电极之间形成微腔；且微腔的腔长(也即底电极和顶电极之间的距离)越长，从该微腔射出的光线的亮度和色纯度越高。相关技术中，为了提高OLED显示装置发出光的亮度和色纯度，需要增大电致发光层的厚度，以增大微腔的腔长。

由于相关技术中在增大微腔的腔长时，需要增大电致发光层的厚度，且通常形成电致发光层所需的时长较长，因此，相关技术中OLED显示装置的制造效率较低。

发明内容

本申请提供了一种阵列基板及其制造方法，可以解决OLED显示装置的制造效率较低的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种阵列基板，所述阵列基板包括：

衬底基板；

所述衬底基板上依次设置有底电极、钝化层、辅助电极、电致发光层和顶电极；

其中，所述钝化层上设置有过孔，所述底电极与所述辅助电极通过所述过孔电连接，所述底电极和所述顶电极均能够反射光线，所述辅助电极能够透射光线，且所述底电极和所述顶电极中存在至少一个电极的材质为半透半反材质。

可选的，所述辅助电极包括：辅助子电极，所述辅助子电极的材质为半透半反材质。

可选的，所述辅助电极还包括：透明子电极，

所述透明子电极设置在所述辅助子电极与所述钝化层之间，所述透明子电极通过所述过孔与所述底电极电连接；

或者，所述透明子电极设置在所述辅助子电极与所述电致发光层之间，所述辅助子电极通过所述过孔与所述底电极电连接。

可选的，所述辅助子电极的功函数大于4电子伏特。

可选的，所述辅助子电极的厚度小于200埃。

可选的，所述衬底基板上还依次设置有像素电路、平坦层和衬底电极；

所述底电极设置在所述衬底电极上；

所述电致发光层和所述顶电极之间还设置有像素定义层，且所述顶电极与所述电致发光层连接。

可选的，所述衬底电极的材质为透明材质。

另一方面，提供了一种阵列基板的制造方法，所述方法包括：

在衬底基板上依次形成底电极和钝化层，所述钝化层上设置有过孔；

在所述钝化层上形成辅助电极，所述辅助电极通过所述过孔与所述底电极电连接；