[发明专利]一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)在全温范围变化下，采集恒定角速度输入Ω下的陀螺输出V_out与温度传感器输出T；

2)建立标度引述得三阶静态温度模型

k₀——陀螺标度因数零次项系数；

k₁——陀螺标度因数一次项系数；

k₂——陀螺标度因数二次项系数；

k₃——陀螺标度因数三次项系数；

K_SF(T)为三阶陀螺因数拟合值；

3)建立标度因数残差值得一阶动态温度模型

其中，ΔK_SF(dT/dt)为标度因数残差值；k_T/t为温度标化率一次项拟合系数；

4)建立标度因数的温度补偿模型，公式如下：

K_SF(T,dT/dt)＝k₀+k₁T+k₂T²+k₃T³-k_T/t·(dT/dt)

其中，K_SF(T,dT/dt)为标度因数温度动态拟合值；

5)利用下式确定补偿后的陀螺角速度输出Ω_out

Ω_out＝V_out/K_SF(T,dT/dt)。

2.如权利要求1所述的一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法，其特征在于：所述的陀螺标度因数零次项系数、陀螺标度因数一次项系数、陀螺标度因数二次项系数和陀螺标度因数三次项系数采用最小二乘法拟合得出。

3.如权利要求1所述的一种MEMS陀螺仪标度因数温度补偿方法，其特征在于：所述的建立标度引述得三阶静态温度模型是忽略陀螺零位Bias影响建立的。