[发明专利]数据收集系统、处理系统以及存储介质

权利要求书

1.一种数据收集系统，其特征在于，具有：

事件数据收集部，将多个检测信号分别作为多个事件数据来收集，上述多个检测信号是在处理系统中检测到工件通过时取得的；

状态机生成部，生成作为与上述工件对应的模型的状态机，上述状态机包括多个状态、上述多个状态间的迁移、以及行动，上述多个检测信号中的一个检测信号在向上述处理系统投入工件时取得，在上述事件数据收集部收集了与上述多个检测信号中的上述一个检测信号相对应的上述多个事件数据中的一个事件数据时，上述状态机生成部生成上述状态机，并对上述状态机分发ID；

状态机表，保持所生成的上述状态机；

状态机驱动部，对上述状态机表所保持的上述状态机发送与上述多个检测信号中的一个检测信号相对应的事件并使该状态机驱动，

工序数据收集部，收集上述工件被处理时的工序数据；

关联部；以及

工序数据输出部，

上述状态机包含二次事件发送行动，

在被上述状态机驱动部驱动而进行向规定的状态进入或从规定的状态退出时，上述二次事件发送行动发送用于进行上述工序数据的切取的二次事件，

上述二次事件中附带有上述ID，

上述关联部在接收到上述二次事件时，对上述工序数据赋予上述二次事件所附带的上述ID，

上述工序数据输出部进行被赋予了上述ID的上述工序数据的、文件保存以及数据发送中的至少任一个。

2.如权利要求1所述的数据收集系统，其特征在于，

上述状态机在上述工件被处理时发送上述二次事件，

上述关联部对应于接收到的上述二次事件，切取上述工序数据的一部分，对上述工序数据的一部分赋予上述二次事件所附带的上述ID，

上述工序数据输出部进行被赋予了上述ID的上述工序数据的一部分的、文件保存以及数据发送中的至少任一个。

3.如权利要求1或2所述的数据收集系统，其特征在于，

上述工序数据是上述工件被处理时的压力以及温度的至少任一个的波形数据。

4.如权利要求1或2所述的数据收集系统，其特征在于，

还具有：

状态机模型文件，对接收事件表、以及包含所生成的上述状态机能够取得的状态的状态表进行定义；

状态机模型编辑工具，构成为用户能够在GUI画面上编辑上述状态机模型文件，并且构成为能够从多个上述状态机模型文件选择与成为数据收集的对象的处理系统对应的一个上述状态机模型文件；以及

状态机生成定时定义文件，对生成上述状态机的事件进行定义。

5.如权利要求1或2所述的数据收集系统，其特征在于，

还具有：

幻影消除部，对上述状态机表中保持的幻影状态机进行检索，使上述幻影状态机终止，上述幻影状态机在上述处理系统中与没有被检测到通过的上述工件相对应。

6.如权利要求5所述的数据收集系统，其特征在于，

还具有：

对应主存储部，存储有多个上述状态和上述处理系统的多个场所之间的各个对应；以及

停留上限数主存储部，存储有第一停留上限数和第二停留上限数，上述第一停留上限数是上述状态机在上述多个状态的各个状态中能够停留的上限数，上述第二停留上限数是上述状态机在上述多个场所的各个场所能够停留的上限数，

上述幻影消除部，在上述状态机迁移时，

参照上述对应主存储部，取得与迁移后的第一状态对应的第一场所，

对上述第一状态下的上述状态机的第一预定停留数以及第一场所中的上述状态机的第二预定停留数进行计算，

参照上述停留上限数主存储部，取得上述第一状态下的上述第一停留上限数以及上述第一场所中的上述第二停留上限数，

根据上述第一预定停留数以及上述第一停留上限数计算第一停留超过数，

将上述第一状态下的上述第一停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止，

根据上述第二预定停留数以及上述第二停留上限数计算第二停留超过数，

将上述第一场所中的上述第二停留超过数的上述状态机作为上述幻影状态机并使该幻影状态机终止。