[发明专利]防撞装置及曝光机台有效

专利信息
申请号: 201711046800.7 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN109725495B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 丛国栋;张志钢;李志龙;管博然 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 装置 曝光 机台
【权利要求书】:

1.一种防撞装置,其特征在于,包括:

力传递机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体;以及

缓冲机构,所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置,多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接;

其中,所述缓冲机构包括缓冲器、连接杆以及导向器;所述导向器与所述物体固定连接,并用于限定所述连接杆的运动方向;所述连接杆的一端与所述缓冲器连接,另一端以可转动的方式与所述力传递机构连接,所述缓冲器与所述物体固定连接;

或者,所述缓冲机构包括第二导向器、楔块、缓冲器、连接杆以及弹簧;所述第二导向器固定安装在所述物体之上,所述楔块的一个面可滑动的连接于所述第二导向器,所述弹簧的两端分别连接于所述第二导向器与所述楔块,所述楔块通过铰链与所述力传递机构连接;所述缓冲器与所述物体的侧面固定连接;所述连接杆一端连接在所述缓冲器上,另一端可滑动的连接于所述楔块的斜面上。

2.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述缓冲机构包括滑块,所述滑块以可滑动的方式与所述力传递机构连接。

3.如权利要求1-2中任意一项所述的防撞装置,其特征在于,所述力传递机构包括多个首尾相连的防撞臂,且任意两个相邻防撞臂以可转动的方式连接。

4.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述导向器具有一个导向槽,所述连接杆在所述导向槽内活动。

5.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述缓冲器能够受力拉升和/或压缩。

6.如权利要求5所述的防撞装置,其特征在于,当所述缓冲器仅能够受力压缩时,所述连接杆包括一个缓冲器滑竿以及一个导向器滑竿,所述缓冲器滑竿与所述导向器滑竿可分离式接触。

7.一种曝光机台,其特征在于,包括曝光台以及防撞装置,所述防撞装置包括力传递机构以及缓冲机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构以非接触的方式包围所述曝光台,所述缓冲机构为多个并用于在所述曝光台的四周设置,且多个所述缓冲机构分别与所述曝光台以及所述力传递机构连接;

其中,所述缓冲机构包括缓冲器、连接杆以及导向器;所述导向器与所述曝光台固定连接,并用于限定所述连接杆的运动方向;所述连接杆的一端与所述缓冲器连接,另一端以可转动的方式与所述力传递机构连接,所述缓冲器与所述曝光台固定连接;

或者,所述缓冲机构包括第二导向器、楔块、缓冲器、连接杆以及弹簧;

所述第二导向器固定安装在所述曝光台之上,所述楔块的一个面可滑动的连接于所述第二导向器,所述弹簧的两端分别连接于所述第二导向器与所述楔块,所述楔块通过铰链与所述力传递机构连接;所述缓冲器与所述曝光台的侧面固定连接;所述连接杆一端连接在所述缓冲器上,另一端可滑动的连接于所述楔块的斜面上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711046800.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top