[发明专利]防撞装置及曝光机台有效
| 申请号: | 201711046800.7 | 申请日: | 2017-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN109725495B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
| 发明(设计)人: | 丛国栋;张志钢;李志龙;管博然 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 装置 曝光 机台 | ||
1.一种防撞装置,其特征在于,包括:
力传递机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体;以及
缓冲机构,所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置,多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接;
其中,所述缓冲机构包括缓冲器、连接杆以及导向器;所述导向器与所述物体固定连接,并用于限定所述连接杆的运动方向;所述连接杆的一端与所述缓冲器连接,另一端以可转动的方式与所述力传递机构连接,所述缓冲器与所述物体固定连接;
或者,所述缓冲机构包括第二导向器、楔块、缓冲器、连接杆以及弹簧;所述第二导向器固定安装在所述物体之上,所述楔块的一个面可滑动的连接于所述第二导向器,所述弹簧的两端分别连接于所述第二导向器与所述楔块,所述楔块通过铰链与所述力传递机构连接;所述缓冲器与所述物体的侧面固定连接;所述连接杆一端连接在所述缓冲器上,另一端可滑动的连接于所述楔块的斜面上。
2.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述缓冲机构包括滑块,所述滑块以可滑动的方式与所述力传递机构连接。
3.如权利要求1-2中任意一项所述的防撞装置,其特征在于,所述力传递机构包括多个首尾相连的防撞臂,且任意两个相邻防撞臂以可转动的方式连接。
4.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述导向器具有一个导向槽,所述连接杆在所述导向槽内活动。
5.如权利要求1所述的防撞装置,其特征在于,所述缓冲器能够受力拉升和/或压缩。
6.如权利要求5所述的防撞装置,其特征在于,当所述缓冲器仅能够受力压缩时,所述连接杆包括一个缓冲器滑竿以及一个导向器滑竿,所述缓冲器滑竿与所述导向器滑竿可分离式接触。
7.一种曝光机台,其特征在于,包括曝光台以及防撞装置,所述防撞装置包括力传递机构以及缓冲机构,所述力传递机构包括一环形结构,所述环形结构以非接触的方式包围所述曝光台,所述缓冲机构为多个并用于在所述曝光台的四周设置,且多个所述缓冲机构分别与所述曝光台以及所述力传递机构连接;
其中,所述缓冲机构包括缓冲器、连接杆以及导向器;所述导向器与所述曝光台固定连接,并用于限定所述连接杆的运动方向;所述连接杆的一端与所述缓冲器连接,另一端以可转动的方式与所述力传递机构连接,所述缓冲器与所述曝光台固定连接;
或者,所述缓冲机构包括第二导向器、楔块、缓冲器、连接杆以及弹簧;
所述第二导向器固定安装在所述曝光台之上,所述楔块的一个面可滑动的连接于所述第二导向器,所述弹簧的两端分别连接于所述第二导向器与所述楔块,所述楔块通过铰链与所述力传递机构连接;所述缓冲器与所述曝光台的侧面固定连接;所述连接杆一端连接在所述缓冲器上,另一端可滑动的连接于所述楔块的斜面上。
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