[发明专利]激光清洗系统及方法

权利要求书

1.一种激光清洗方法，其特征在于：所述激光清洗方法采用激光清洗系统实现，所述激光清洗系统包括光源单元，第一反射镜，第一驱动单元，第二反射镜，第二驱动单元，以及聚焦镜；该光源单元提供的激光束先后通过该第一反射镜和该第二反射镜，再通过该聚焦镜聚焦，可使激光束聚焦在清洗面，所述激光清洗方法包括：

①、从起点开始，该第一驱动单元驱动该第一反射镜匀速运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b往复摆动，则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成去程曲线轨迹QC；

②、当该第一反射镜运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动该第一反射镜反方向运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b往复摆动；则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成回程曲线轨迹HC；

③、当该第一反射镜反向运动距离达到设定值c时，该第一反射镜和该第二反射镜同时停止运动，则聚焦的激光束，可以在清洗表面形成完整的回旋8字形清洗轨迹；

其中，该第一反射镜的摆动极限幅度为a，该第二反射镜的偏摆幅度设定为b，设定的清洗区域长度为c，c≤a。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：该回旋8字形清洗轨迹的生成方法包括：

①、从起点开始，该第一驱动单元驱动该第一反射镜匀速运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b往复摆动，则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成去程曲线轨迹QC1；

②、当该第一反射镜运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动第一反射镜反方向运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b往复摆动；则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成回程曲线轨迹HC1；

③、当该第一反射镜反向运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动该第一反射镜匀速运动，该第二驱动单元驱动第二反射镜按照b往复摆动，则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成去程曲线轨迹QC2；

④、当该第一反射镜运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动该第一反射镜反方向运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b往复摆动；则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成回程曲线轨迹HC2；

如此循环往复，直到该第一反射镜和该第二反射镜同时停止运动，则聚焦的激光束，可以在清洗表面形成完整的轨迹。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：该回旋8字形清洗轨迹的生成方法包括：

①、从起点开始，该第一驱动单元驱动该第一反射镜匀速运动，则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成去程直线轨迹QC1；

②、当该第一反射镜运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动该第一反射镜反方向运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b单向偏转；则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成回程直线轨迹HC1；

③、当该第一反射镜反向运动距离达到设定值c时，该第一驱动单元驱动该第一反射镜匀速运动，则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成去程直线轨迹QC2；

④、当该第一反射镜运动距离达到设定值c时，此时该第一驱动单元驱动该第一反射镜反方向运动，该第二驱动单元驱动该第二反射镜按照b反方向地单向偏转；则聚焦后的激光束，可以在清洗表面形成回程直线轨迹HC2；

⑤、当该第一反射镜反向运动距离达到设定值c时，该第一反射镜和该第二反射镜同时停止运动，则聚焦的激光束，可以在清洗表面形成完整的轨迹。

4.一种激光清洗系统，其特征在于，包括：光源单元，第一反射镜，第一驱动单元，第二反射镜，第二驱动单元，以及聚焦镜；该光源单元提供的激光束先后通过该第一反射镜和该第二反射镜，再通过该聚焦镜聚焦，可使激光束聚焦在清洗面；并且，该第一反射镜和该第二反射镜分别利用该第一驱动单元和该第二驱动单元驱动而按照如权利要求1-3任一项所述的方法摆动，以使聚焦后的激光束在一定范围内，按照设定的回旋8字形清洗轨迹运动，实施清洗。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于：该第一驱动单元和该第二驱动单元驱动均选用电机进行驱动。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于：该光源单元包括固体激光器、气体激光器、液体激光器、半导体激光器或自由电子激光器。