[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法以及印刷电路板的制造方法在审
| 申请号： | 201710953268.0 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107652383A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 宫坂昌宏;锻治诚;村上泰治;印杰;姜学松;李宝 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社;上海交通大学 |
| 主分类号： | C08F212/08 | 分类号： | C08F212/08;C08F220/06;C08F220/14;C08F220/18;C08F257/02;C08F2/48;C08F220/28;C08F220/58;G03F7/00;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 钟晶,陈彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图形 形成 方法 以及 印刷 电路板 制造 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，所述(C)光聚合引发剂包含下述式(1)所示的化合物，
式(1)中，R1和R2各自独立地表示下述式(1a)或(1b)所示的基团，
式(1a)和(1b)中，R各自独立地表示碳原子数1～20的烷基或苯基，多个存在的R可以相同也可不同。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述式(1)所示的化合物的极大吸收波长为350～410nm的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)粘合剂聚合物含有(甲基)丙烯酸、和苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚成分。
4.一种感光性元件，其具备支撑体、在该支撑体上形成的由权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂组合物层。
5.一种抗蚀图形的形成方法，其包含如下工序：
层叠工序，在基板上层叠由权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂组合物层，
曝光工序，对所述感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，
显影工序，从所述基板上去除所述感光性树脂组合物层的所述规定部分以外的部分，从而在所述基板上形成由所述感光性树脂组合物的固化物形成的抗蚀图形。
6.一种印刷电路板的制造方法，其包含对通过权利要求5所述的方法而形成有抗蚀图形的基板进行蚀刻或镀覆的工序。
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