[发明专利]大基片游星轮

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体加工装置，特别是一种作为半导体精加工研磨载体的游星轮。

背景技术

现有的9B型双面抛光机，其游星轮上的加工位数量较多，加工位的面积较小，最大加工范围为200mm，使得磨盘的利用率较低，同时无法加工较大面积的工件。

发明内容

为解决上述问题，本发明提出能有效提高磨盘利用率，提高加工工件体积，特别适应与加工细长型工件的大基片游星轮。

本发明设计的大基片游星轮，包括游星轮本体，所述的游星轮的直径为640mm，其中心具有安装孔，所述的安装孔的内圈上设有齿，所述的游星轮圆周上均布有三个工件安装位，所述的工件安装位的长为300mm宽为150mm。

进一步地，所述的工件安装位内设有耐磨固定插片，所述的耐磨固定插片的形状为直角三角形或梯形。

更进一步地，所述的耐磨固定插片对称设置在工件安装位内。

与现有技术相比，本发明所得到的大基片游星轮，大大增加了工件安装位的面积，对应普通的形状的工件，其加工面积能对应工件安装位的大小，达到150*300mm，而对应细长类工件，配合使用耐磨固定插片，最大加工长度可以得到335mm。由于可以配合耐磨固定插片使用，其也向下兼容了小面积的工件加工。因此，这种大基片游星轮大大提高了盘面的利用率，非常适合低端产品的大批量生产，解决了9B双面抛光机的加工局限性，有效提高了产量，其产量可以达到原有产量的一倍以上。

附图说明

图1是本发明的主视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例1。

如图1所示，本实施例描述的大基片游星轮，包括游星轮1本体，所述的游星轮1的直径为640mm，其中心具有安装孔2，所述的安装孔2的内圈上设有齿3，所述的游星轮1圆周上均布有三个工件安装位4，所述的工件安装位4的长为300mm宽为150mm。

所述的工件安装位4内设有第一耐磨固定插片5和第二耐磨固定插片6，所述的第一耐磨固定插片5的形状为直角三角形，第二耐磨固定插片6的形状为梯形。所述的耐磨固定插片对称设置在工件安装位4内。