[发明专利]沉积装置及利用其的有机物沉积方法

说明书

本发明涉及沉积装置以及利用该沉积装置的沉积方法，具体地，沉积装置包括掩模单元、第一板和施压单元，掩模单元布置在上述掩模单元上并与上述掩模单元隔开，施压单元与上述第一板独立地布置并且沿着上述第一板的一表面移动并对目标衬底的表面的一部分区域施压，其中上述第一板包括施压固定部，施压固定部布置在上述第一板的一表面上并且供上述施压单元联接。

技术领域

本发明涉及沉积装置以及利用该沉积装置的有机物沉积方法。

背景技术

有机发光显示(organic light emitting display；OLED)装置是能够利用分别由阳极(anode)和阴极(cathode)提供的空穴和电子在位于这些电极之间的有机发光层中结合而生成的光来显示图像、文字等信息的显示装置。

所述有机发光显示装置在上述电极之间形成有机发光层和诸如电子注入层、电子传输层、空穴传输层和空穴注入层等的中间层以获得高效率的发光。

通常，上述有机发光层和上述中间层利用包括精细金属掩模(fine metal maskFMM)的掩模来形成，其中精细金属掩模具有沉积图案。然而，精细金属掩模趋向于大面积化，并且在用于控制这种精细金属掩模的冷板(Cool plate)由金属形成的情况下，由于自重而导致的下垂现象也会发生得较为严重，因此在平坦度上可能随着位置的不同而出现数百um的差异。也就是说，由于气化的有机物沉积在未保持均匀的平坦面的目标衬底表面上，因此难以形成均匀的有机膜。

这种不均匀的沉积可能在实现有机发光显示装置时导致污渍现象，因此可能成为产品缺陷的直接原因。

此外，虽然格(Cell)的布置根据样式而不同，但是沉积装置中的施压(Embo)限定在相同的位置上，而当格不与施压的位置对应时，可能发生沉积缺陷。也就是说，这种沉积缺陷被认为是在不考虑目标衬底的大小的情况下在同一沉积装置内将有机物沉积到各种大小的目标衬底上而导致的。即，对于利用一个沉积装置自由地实现具有各种格大小的目标衬底而言已达到了极限。

如上所述，若考虑目标衬底的大小而准备应对各种目标衬底的大小和格的大小的沉积设备和沉积装置，则准备装置的费用可能增加。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，提供这样一种沉积装置，即，通过在板上布置能够应对各种目标衬底的大小及各种格的大小的施压单元，从而能够对应于目标衬底的弯曲而调节平坦度，由此能够改善目标衬底上的不均匀沉积。

本发明的问题不限于上文中所提及的技术问题，并且本领域技术人员可通过下面的记载明确理解未提及的或其他的技术问题。

为解决上述技术问题的根据本发明一实施方式的沉积装置包括掩模单元、第一板和施压单元，其中第一板布置在所述掩模单元上并且所述掩模单元隔开，施压单元布置成独立于所述第一板并且沿着所述第一板的一表面移动并对目标衬底的表面的一部分区域施压，其中，所述第一板包括施压固定部，施压固定部布置在所述第一板的一表面上并且供所述施压单元联接。

所述施压固定部可包括彼此相邻地并排布置的第一引导部和第二引导部，其中，所述第一引导部可具有位于所述第一板的一表面上的第一引导壁和从所述第一引导壁延伸并且从所述第一引导壁在第一方向上弯曲的第一引导盖，并且所述第二引导部可具有位于所述第一板的一表面上的第二引导壁和从所述第二引导壁延伸并且从所述第二引导壁在与所述第一方向相反的第二方向上弯曲的第二引导盖。

所述第一引导盖与所述第二引导盖可在彼此相对的方向上布置成平行于所述第一板的一表面。

所述施压单元可通过由所述第一引导部和所述第二引导部包围的空间联接至所述施压固定部。

所述第一引导盖与所述第二引导盖可彼此隔开，并且所述第一引导盖与所述第二引导盖之间的距离可小于所述第一引导壁与所述第二引导壁之间的距离。