[发明专利]一种半导体光放大器及成像设备有效

专利信息
申请号: 201710864063.5 申请日: 2017-09-22
公开(公告)号: CN107680978B 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 胡菁;夏若彬;张杰 申请(专利权)人: 浙江大华技术股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 310053 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 放大器 成像 设备
【说明书】:

发明公开了一种半导体光放大器及成像设备,所述光放大器包括衬底,还包括:红色增益层、绿色增益层、蓝色增益层和与衬底及每个增益层对应的每个电极层;所述红色增益层、绿色增益层和蓝色增益层生长在所述衬底上;对应的所述每个电极层分别设置在所述衬底、红色增益层、绿色增益层和蓝色增益层上,且每个增益层的两侧为电极层。在本发明实施例中,对光信号中的红光、绿光和蓝光分别进行了光放大,并实现了彩色成像。

技术领域

本发明涉及可见光技术领域,尤其涉及一种半导体光放大器及成像设备。

背景技术

在住宅小区、写字楼、校园、高速公路等场合,夜间光照不足,又不可能大规模安装补光照明设施,此种场景下对摄像机的超低照度性能要求就比较高,由于常规型摄像机难以满足24小时连续监控的需求,为了得到较好的监控效果,就需要摄像机等摄像设备满足超低照度成像的要求。

现有技术中为了达到超低照度成像的效果,可以是使用EMCCD(ElectronMultiplying Charge Coupled Device,电子倍增的电感耦合器件)来完成,如图1所示为现有技术提供的一种EMCCD的结构示意图,EMCCD的成像区、存储区和读出寄存器使用传统CCD(Charge Coupled Device,电感耦合器件)的设计,只是在读出寄存器之后扩展了一段增益寄存器,增益寄存器后连接有电荷检测节点和读出放大器,增益寄存器上需要施加高电场,载流子在高电场作用下引发碰撞电离,从而产生新的载流子,高电场区域足够宽时,新产生的载流子能再次发生碰撞,再次产生新的载流子从而通过电信号的放大实现超低照度成像,此外通过级联多个增益寄存器,可以提供更高的模拟增益,例如Andor iXon888型号的EMCCD摄像机可以提供线性300倍以上的模拟增益。

现有技术提供的增益寄存器中的电荷转移的过程示意图如图2所示,图2中以一个倍增单元的载流子转移为例,Φ3和Φ1为由标准幅值时钟驱动(约10V)的两个电极,另一个电极被两个电极Φ2和Φdc所取代,Φ2加的电压比仅用于转移载流子的电压转移电荷所需的电压高很多,所以Φ2和Φdc间由于巨大的电压差,在Φ2和Φdc间产生巨大的电场强度使载流子在转移过程中发生碰撞,产生新的载流子,实现电信号的放大。

如图3所示为现有技术提供的一种微光夜视仪的结构示意图,图3中所示的微光夜视仪为一代像增强管,主要由光纤面板、光电阴极、电子倍增区域、和荧光屏组成,微光夜视仪利用安装在光纤面板上的光电阴极,把入射光信号转化成向外发射的电子,再利用其后高电场区域(电子倍增区域)进行电子倍增,电子倍增区域中的聚焦锥电极将电子聚焦并透射到荧光屏上,通过荧光屏进行电光转换来形成可见光图像。器件通过多级光电光转换以及电信号的倍增,最终实现入射光信号的放大,从而达到超低照度成像的目的。

虽然EMCCD和微光夜视仪都可以实现超低照度成像,但是它们的成像效果存在缺陷。例如,使用EMCCD来完成超低照度成像时,由于使用CCD作为感光单元,因此存在高光溢出这一CCD的固有缺陷。而微光夜视仪目前没有直接彩色成像方案。并且通过微光夜视仪中电子倍增区域来完成超低照度成像时,由于技术管制,目前可向民用出售的微光夜视仪的分辨率略低,只有50lp/mm(线对/毫米)左右,不能够满足彩色低照度成像的需求。

发明内容

本发明提供一种半导体光放大器及成像设备,用以实现彩色低照度成像。

本发明实施例中提供了一种半导体光放大器,包括衬底,所述半导体光放大器还包括:红色增益层、绿色增益层、蓝色增益层和与衬底及每个增益层对应的每个电极层;

所述红色增益层、绿色增益层和蓝色增益层生长在所述衬底上;

对应的所述每个电极层分别设置在所述衬底、红色增益层、绿色增益层和蓝色增益层上,且每个增益层的两侧为电极层。

进一步地,所述电极层为多孔结构;

所述红色增益层、绿色增益层和蓝色增益层生长在所述衬底上包括:

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