[发明专利]光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机

说明书

本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。

本申请是申请日为2013年5月13日、申请号为201310175617.2、发明名称为“光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及具有波长可变干涉滤波器的光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。

背景技术

以往，公知有具备如下的波长可变干涉滤波器(例如参照对比文件1)：相互相对的一对基板、分别配置在各基板且相互相对的反射膜以及分别配置在各基板且相互相对的电极。

在专利文献1中记载的波长可变干涉滤波器中，在各基板分别配置有相互相对的静电电容监视用电极、相互相对的静电力施加用电极(静电致动器)。在这样的波长可变干涉滤波器中，通过控制电路对静电致动器施加电压，从而使反射膜间的间隙量(间隔尺寸)变化。并且，通过静电电容检测电路检测静电电容监视用电极的电位，并根据检测出的静电电容，对从控制电路对静电致动器施加的电压进行微调(反馈控制)，从而将反射膜间间隙的间隙量设定为所希望的目标值。

【在先专利文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开平1-94312号公报

但是，在上述专利文献1所记载的波长可变干涉滤波器中，通过控制电路对静电致动器施加电压，从而对反射膜间间隙的间隙量进行控制。

并且，在静电致动器中，电极间间隙相对于施加电压的位移量(灵敏度)随着电极间间隙的间隙量而呈非线性变化。因此，即使在将对施加给静电致动器的电压进行控制的控制电路的增益相对于某电极间间隙的灵敏度设定为最适合的情况下，在电极间间隙较大地变化时，也会导致静电致动器的灵敏度不同，所以无法进行适当的控制。也就是说，存在如下的问题：电极间间隙只有在有限狭小的范围内的情况下才能通过设定的增益使控制电路发挥作用。

与此相对，虽然也考虑如下的结构：根据电极间间隙的间隙量，使控制电路的增益变化，针对较宽间隙范围适当地使控制电路发挥作用，但会存在使用于实现可变增益的系统变得复杂化的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供结构简单且可对反射膜间间隙的较宽的间隙范围高精度地实施间隙量的微调的光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。

本发明的光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，所述波长可变干涉滤波器具备隔着反射膜间间隙相对的两个反射膜、以及通过电压施加来改变所述反射膜间间隙的间隙量的所述静电致动器部，其中，所述静电致动器部具备能相互独立驱动的第一静电致动器以及第二静电致动器，所述电压控制部具备：偏压施加单元，对所述第一静电致动器施加预先设定的偏压；间隙检测单元，检测所述反射膜间间隙的间隙量；以及反馈电压施加单元，对所述第二静电致动器施加与通过所述间隙检测单元检测出的间隙量相对应的反馈电压。

在本发明中，在波长可变干涉滤波器中设置有改变反射膜间间隙的静电致动器部，该静电致动器部具备能相互独立驱动的第一静电致动器、以及第二静电致动器。

并且，电压控制部的偏压施加单元对第一静电致动器施加偏压。此外，反馈电压施加单元对第二静电致动器施加反馈电压，以使由间隙检测单元检测出的反射膜间间隙(检测间隙)变为反射膜间间隙的目标间隙量。