[发明专利]光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机

权利要求书

1.一种光模块，其特征在于，包括波长可变干涉滤波器以及向所述波长可变干涉滤波器施加电压的电压控制部，

所述波长可变干涉滤波器包括第一反射膜、隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及通过施加电压来改变所述反射膜间间隙的量的静电致动器部，

所述静电致动器部包括第一静电致动器以及第二静电致动器，所述电压控制部包括：

偏压施加单元，对所述第一静电致动器施加偏压；

间隙检测单元，检测所述反射膜间间隙的量；以及

反馈电压施加单元，对所述第二静电致动器施加与通过所述间隙检测单元检测出的所述反射膜间间隙的量相对应的反馈电压，

通过对所述第一静电致动器施加所述偏压，降低通过所述反馈电压施加单元对所述第二静电致动器施加所述反馈电压时的灵敏度。

2.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于，

所述偏压施加单元对所述第一静电致动器施加所述反射膜间间隙变化规定的量所需的所述反馈电压变为规定电压值的所述偏压。

3.根据权利要求2所述的光模块，其特征在于，

所述波长可变干涉滤波器包括：第一基板，所述第一基板设置于所述第一反射膜及所述第二反射膜中的一个反射膜；以及第二基板，所述第二基板与所述第一基板相对设置且设置于所述第一反射膜及所述第二反射膜中的另一个反射膜，

所述第一静电致动器包括：设置于所述第一基板的第一电极、以及设置于所述第二基板且隔着第一间隙与所述第一电极相对的第二电极，

所述第二静电致动器包括：设置于所述第一基板的第三电极、以及设置于所述第二基板且隔着间隙与所述第三电极相对的第四电极，

在将所述第二基板具有的弹簧系数设为k、将所述间隙的介电常数设为ε、将在从所述第一基板及所述第二基板的基板厚度方向俯视观察时所述第一电极及所述第二电极相互重叠的区域的面积设为S_b、将在所述俯视时所述第三电极及所述第四电极相互重叠的区域的面积设为S_c、将未对所述第一静电致动器及所述第二静电致动器施加电压的状态下的所述间隙的间隙量即初始间隙量设为d_max、将为了通过所述波长可变干涉滤波器取出目标波长的光所需的从所述间隙距离所述初始间隙量的变化量设为d、用于将所述间隙变化规定量的所述第二静电致动器的灵敏度设为R_c的情况下，

所述偏压施加单元对所述第一静电致动器施加满足下式(1)的偏压V_b：

4.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于，

所述反馈电压施加单元对所述第二静电致动器施加模拟电压。

5.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于，

所述反馈电压施加单元对所述第二静电致动器施加数字电压。

6.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于，

所述波长可变干涉滤波器包括：

第一基板，设置于所述第一反射膜及所述第二反射膜中的一个反射膜；

第二基板，与所述第一基板相对设置且设置于所述第一反射膜及所述第二反射膜中的另一个反射膜；

第一静电电容检测电极，设置于所述第一基板；以及

第二静电电容检测电极，设置于所述第二基板且隔着第二间隙与所述第一静电电容检测电极相对，

所述间隙检测单元根据所述第一静电电容检测电极及所述第二静电电容检测电极保存的电荷，检测所述反射膜间间隙的量。

7.根据权利要求6所述的光模块，其特征在于，

所述第一静电电容检测电极是所述第一反射膜及所述第二反射膜中的一个，所述第二静电电容检测电极是所述第一反射膜及所述第二反射膜中的另一个。

8.根据权利要求6所述的光模块，其特征在于，

在从所述第一反射膜及所述第二反射膜的厚度方向俯视观察所述波长可变干涉滤波器时，所述第二静电致动器被配置在比所述第一静电致动器更远离所述第一静电电容检测电极及所述第二静电电容检测电极的位置。