[发明专利]一种SiBNC陶瓷泡沫的制备方法有效
| 申请号： | 201710807244.4 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107619284B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘勇;彭帅;张辉;崔永杰;常雪峰;张晨宇;韩克清;余木火 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C04B35/58 | 分类号： | C04B35/58;C04B38/06 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 黄志达;魏峯 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 sibnc 陶瓷 泡沫 制备 方法 | ||
1.一种SiBNC陶瓷泡沫的制备方法，包括：
(1)将三聚氰胺泡沫在氩气保护下热解处理，得到泡沫碳；
(2)将步骤(1)得到的泡沫碳置于化学气相沉积炉中，以BCl3，CH3SiCl3和NH3为前驱体气体，氢气为载气，氩气为稀释气体进行化学气相沉积，然后冷却至室温，得到SiBNC/C泡沫；其中前驱体气体BCl3、CH3SiCl3和NH3的用量比为1：2～4：3～6；化学气相沉积的工艺参数为：沉积压力为100～300Pa，沉积温度为800～1200℃，沉积时间为5～15h；
(3)将步骤(2)得到的SiBNC/C泡沫在空气气氛下热处理氧化除碳，得到SiBNC陶瓷泡沫。
2.根据权利要求1所述的一种SiBNC陶瓷泡沫的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中热解处理的工艺参数为：以1～3℃/min的升温速率升温至1200～1400℃并退火0.5～1.5小时。
3.根据权利要求1所述的一种SiBNC陶瓷泡沫的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中的前驱体气体BCl3，CH3SiCl3和NH3流量为90～180mL/min，氢气流量为200～400mL/min，氩气流量为150～250mL/min。
4.根据权利要求1所述的一种SiBNC陶瓷泡沫的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中热处理的工艺参数为：以8～10℃/min的升温速率升温至700～800℃并退火1～3小时，并以4～6℃/min的速率降温至室温。
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